2026年8月31日，備受矚目的第十四屆半導(dǎo)體設(shè)備材料及核心部件展（CSEAC）在無(wú)錫太湖國(guó)際博覽中心盛大啟幕。本屆半導(dǎo)體設(shè)備年會(huì)，匯聚了半導(dǎo)體設(shè)備制造商、傳感器制造企業(yè)及產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)，科研院所的專家學(xué)者，分享科研成果與實(shí)際應(yīng)用案例，共同探討如何通過(guò)技術(shù)創(chuàng)新賦能產(chǎn)業(yè)升級(jí)。
本次盛會(huì)，Kanomax攜多款檢測(cè)儀器重磅亮相A6-726展位，涵蓋塵埃粒子計(jì)數(shù)器、熱式風(fēng)速儀、風(fēng)速變送器等產(chǎn)品，賦能半導(dǎo)體生產(chǎn)潔凈管控、氣流優(yōu)化等核心應(yīng)用。


 
展臺(tái)前人流涌動(dòng)，半導(dǎo)體材料企業(yè)的研發(fā)人員、Fab廠的技術(shù)負(fù)責(zé)人紛紛駐足咨詢，加野工作人員耐心細(xì)致地介紹儀器的性能特點(diǎn)、應(yīng)用場(chǎng)景，并現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行產(chǎn)品演示，讓大家直觀感受產(chǎn)品的出色性能。








 
隨著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)加速迭代，先進(jìn)制程對(duì)生產(chǎn)環(huán)境潔凈管控提出愈發(fā)嚴(yán)苛的要求。晶圓制造、涂膠顯影、刻蝕、封裝等關(guān)鍵工序中，超微顆粒、氣流波動(dòng)都會(huì)直接引發(fā)晶圓缺陷，影響芯片良率與產(chǎn)品可靠性，潔凈環(huán)境檢測(cè)成為芯片生產(chǎn)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。


 
Kanomax全新推出的0.1μm塵埃粒子計(jì)數(shù)器3901，針對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的嚴(yán)苛潔凈需求量身打造，適配半導(dǎo)體晶圓制造、封裝測(cè)試等不同環(huán)節(jié)的檢測(cè)需求，成為現(xiàn)場(chǎng)觀眾咨詢的焦點(diǎn)。


 
3901可同時(shí)監(jiān)測(cè)0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.5、1.0μm微小顆粒，采用28.3L/min標(biāo)準(zhǔn)流量設(shè)計(jì)，搭配10.1英寸大屏觸控，支持戴手套操作，設(shè)備可導(dǎo)入房間地圖或自定義房間尺寸生成布局，實(shí)現(xiàn)測(cè)試點(diǎn)位可視化管理，讓布點(diǎn)規(guī)劃一目了然，杜絕漏測(cè)錯(cuò)測(cè)。


 
3901同時(shí)支持Wi-Fi遠(yuǎn)程智控，單機(jī)可存儲(chǔ)20000條完整測(cè)試記錄；三電池槽結(jié)構(gòu)保障鋰電池續(xù)航超5小時(shí)，滿足長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)檢測(cè)。設(shè)備還可選配風(fēng)速、溫濕度、差壓傳感器及高壓擴(kuò)散器，一機(jī)即可完成潔凈室綜合性能全面驗(yàn)證，讓潔凈管控更高效、更省心！


 
Kanomax超小型塵埃粒子計(jì)數(shù)器3950，專為嵌入組裝在半導(dǎo)體制造等裝置中設(shè)計(jì)，致輕、致小，采樣量2.83L/min，同時(shí)測(cè)試0.1μm、0.3μm微小粒子，4.3英寸彩色觸摸屏顯示屏，可使用附帶軟件在PC上顯示測(cè)試數(shù)據(jù)。設(shè)有RS-485、Ethernet、USB通訊接口。適配潔凈室及高清潔區(qū)域在線監(jiān)測(cè)，安裝與集成更簡(jiǎn)便。


 
遠(yuǎn)程塵埃粒子計(jì)數(shù)器3715-06D、3720-06專為潔凈室在線監(jiān)測(cè)設(shè)計(jì)，多種粒徑同時(shí)測(cè)試0.3、0.5、0.7、1.0、3.0、5.0、10.0 μm，采用長(zhǎng)壽命激光光源，平均運(yùn)行時(shí)間≥ 10年，3年質(zhì)保，內(nèi)置真空泵，具備數(shù)據(jù)緩存、追溯及冗余備份功能，確保數(shù)據(jù)完整安全。


 
塵埃粒子計(jì)數(shù)器3905采用28.3L/min 大流量采樣，同步檢測(cè)0.3 、0.5、 1.0、 3.0、 5.0、10.0μm 6 種粒徑，6.4 英寸觸摸屏，內(nèi)置打印機(jī)可直出報(bào)告、判定潔凈室級(jí)別。可外接傳感器，存 10000 組數(shù)據(jù)且支持 U 盤(pán)擴(kuò)容，符合多項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)，準(zhǔn)確合規(guī)。


 
在半導(dǎo)體顯影、刻蝕、切割等關(guān)鍵制程，對(duì)潔凈室及設(shè)備內(nèi)部局部風(fēng)速極為敏感，氣流狀態(tài)直接決定工藝精度與芯片良率。合理的風(fēng)場(chǎng)可及時(shí)帶驅(qū)散刻膠殘?jiān)?、刻蝕副產(chǎn)物、切割粉塵等微粒，避免污染物附著晶圓造成制程缺陷；而風(fēng)速偏高、偏低或分布不均，都會(huì)直接導(dǎo)致良率下降。



 
涂膠顯影設(shè)備對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度要求較高，尤其是光刻膠涂布和顯影過(guò)程中，需要通過(guò)風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元（FFU）高效過(guò)濾器（如HEPA或ULPA）提供潔凈的空氣，使用Kanomax環(huán)境測(cè)試儀65Ser可有效識(shí)別風(fēng)速異常問(wèn)題，提前規(guī)避線寬偏移、圖案畸變等工藝風(fēng)險(xiǎn)，穩(wěn)定制程氣流環(huán)境，保障半導(dǎo)體生產(chǎn)精度與運(yùn)行穩(wěn)定性。


 
環(huán)境測(cè)試儀65Ser，可同時(shí)測(cè)量風(fēng)速、溫度、濕度、壓力、輸入管道截面的形狀及尺寸從而計(jì)算出風(fēng)量，8種探頭可供選擇，憑借高精度、探頭互換性、穩(wěn)定性、易操作性及多參數(shù)測(cè)量顯示等特點(diǎn)在半導(dǎo)體制造設(shè)備行業(yè)得到廣泛應(yīng)用。




 
Kanomax深耕潔凈檢測(cè)領(lǐng)域，專注潔凈環(huán)境監(jiān)測(cè)、氣流測(cè)試等核心應(yīng)用，旗下塵埃粒子計(jì)數(shù)器、風(fēng)速儀等系列產(chǎn)品，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)各類(lèi)關(guān)鍵檢測(cè)場(chǎng)景，以專業(yè)的檢測(cè)能力，助力眾多半導(dǎo)體企業(yè)落實(shí)品質(zhì)管控，守護(hù)芯片生產(chǎn)環(huán)境安全。




 
展會(huì)火熱進(jìn)行中，Kanomax展臺(tái)現(xiàn)場(chǎng)賓客云集，專業(yè)氛圍濃厚，技術(shù)團(tuán)隊(duì)專業(yè)答疑，竭誠(chéng)接待每一位來(lái)訪觀眾。本次展會(huì)持續(xù)至9月2日，我們?cè)贏6-726展位恭候您的到來(lái)，一同見(jiàn)證半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展！