金屬軟管波紋管

這款產(chǎn)品是超高真空系統(tǒng)專用的全金屬柔性連接部件，是真空場景里實現(xiàn)管路柔性補償?shù)暮诵呐浼?，適配嚴苛的高潔凈真空工況。

核心結(jié)構(gòu)：

管身由極薄的高純奧氏體不銹鋼通過液壓脹形一體模壓成型，整根波紋管本體沒有拼接焊縫，波紋應(yīng)力分布均勻，不會出現(xiàn)應(yīng)力集中導(dǎo)致的開裂問題

兩端搭載標(biāo)準的CF刀口法蘭，法蘭表面經(jīng)過精密研磨加工，搭配無氧銅墊圈就能實現(xiàn)金屬對金屬的超高真空密封，避免微小漏點

管身布滿連續(xù)均勻的環(huán)形波紋，擁有很強的自由彎折能力，可以輕松彎曲成U型狀態(tài)，適配復(fù)雜的安裝空間布局

部分升級款的一端法蘭設(shè)計為可回轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，現(xiàn)場安裝時可以自由對位，大幅降低管路裝配的對位難度。

應(yīng)用領(lǐng)域：

半導(dǎo)體刻蝕、PVD/CVD薄膜沉積設(shè)備，連接腔體與分子泵、離子泵，保障超高真空環(huán)境的穩(wěn)定性

光學(xué)鍍膜、光伏鈣鈦礦鍍膜等產(chǎn)線，補償管路形變，隔絕泵源振動，避免薄膜沉積過程受干擾

高?？蒲械某哒婵諏嶒炃惑w、表面分析儀器、電子束設(shè)備，適配精密實驗平臺的復(fù)雜管路布局

航天航空的低溫燃料管路、真空模擬試驗裝置，適配深冷、高溫等惡劣工況環(huán)境。