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產(chǎn)品簡介
日本 FUJI SEIKI 伺服電機驅動真空蝶閥產(chǎn)品參數(shù)
| 產(chǎn)地 | 進口 | 產(chǎn)品新舊 | 全新 |
日本 FUJI SEIKI 伺服電機驅動真空蝶閥富士精工 MBV?SDⅡ?M4?ARJ 電機驅動蝶閥，搭載三菱伺服電機，支持多段位置記憶，實現(xiàn)閥門開度多級調節(jié)。使用壽命可達 100 萬次循環(huán)，泄漏量小，適配 20A?100A 口徑，適用于真空腔體恒壓維持、排氣電導率可變調節(jié)，可搭配 PLC、上位機實現(xiàn)自動化壓力控制。
日本 FUJI SEIKI 伺服電機驅動真空蝶閥詳細信息
日本 FUJI SEIKI 伺服電機驅動真空蝶閥 日本 FUJI SEIKI 伺服電機驅動真空蝶閥
1、產(chǎn)品性能
本系列為面向電導率控制開發(fā)的電機驅動蝶閥，閥體不帶 O 型圈；驅動采用通用性強的三菱 AC 伺服電機，可在全開、全關及任意中間位置保持定位。最多記憶 13 組位置參數(shù)，上位 PLC 信號實現(xiàn)高重復精度定位；循環(huán)壽命可達 100 萬次，支持選配自動壓力控制系統(tǒng)，完成閉環(huán)壓力調節(jié)，泄漏指標優(yōu)異，適配高真空工況。
2、型號說明
MBV?CF40SDⅡ?M4?ARJ
MBV?CF63SDⅡ?M4?ARJ
MBV?CF100SDⅡ?M4?ARJ
商品代碼分別對應：10840□□、10842□□、10844□□；最小規(guī)格從 20A (NW25) 起步，可提供帶閥體 O 型圈全封閉密封版本。
3、主要參數(shù)表
表格
| 項目 | 規(guī)格 |
|---|---|
| 法蘭形式 | JIS、ISO、CF、NW |
| 口徑 | 20A?100A |
| 工作壓力域 | \(10^{5}\sim10^{-6}\ \mathrm{Pa}\) |
| 泄漏量 | \(1\times10^{-9}\mathrm{Pa\cdot m^{3}/s}\)以下 |
| 電源規(guī)格 | 主電源 AC200V，控制 DC24V |
| 控制方式 | AC 伺服方式 |
| 接氣材質 | SUS304 |
| 軸封 | 拜頓 O 型圈兩段密封 |
| 壽命 | 100 萬次循環(huán) |
4、用途
真空腔體內恒壓維持；
閥門前后壓差可變調節(jié)；
排氣電導率可變控制；
半導體、鍍膜設備、科研真空裝置自動化節(jié)流調壓；
搭配 FPC 控制器，實現(xiàn)完整自動壓力閉環(huán)控制。
5、使用說明
安裝：按產(chǎn)品尺寸圖，選用對應規(guī)格 CF/NW 法蘭完成管路對接，伺服放大器獨立固定，預留散熱空間；
接線：主電源 AC200V、DC24V 控制電源接入伺服放大器，連接 PLC 上位控制信號；
參數(shù)設定：通過伺服放大器本體或配套軟件預設最多 13 組閥門開度位置；
運行：PLC 下發(fā)指令，閥門切換至預設開度，實現(xiàn)節(jié)流調壓；選配控制器可開啟自動壓力閉環(huán)；
維護：定期檢查軸封 O 型圈，真空系統(tǒng)維護時斷電停機，禁止帶壓拆卸閥體。
關鍵詞：控制器
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