緊湊型CVD爐是由OTF-1200X-4 單溫區(qū)爐演變而來 :

內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命

石英管：4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" L 工作溫度：1100oC 

右邊帶樣品支架的法蘭是滑動(dòng)的，方便操作在加熱器和CVD爐之間的法蘭是預(yù)加熱氣體的通道，同時(shí)也起密封作用。 

在爐子左側(cè)的小加熱器是對(duì)輸入CVD 爐的氣體、液體、固體或混合物進(jìn)行預(yù)加熱:

1.2''O.D x 6''L SS 作為加熱腔小加熱器工作溫度：600oC 

左邊法蘭具有密封和氣體通道的作用。  詳細(xì)結(jié)構(gòu)請看下圖

CVD 爐: 400mm

小加熱器: 150mm

CVD 爐:

• 工作溫度: 1100°C ( < 2 hour )>
• 連續(xù)工作溫度: 200~1000°C
• 升溫和降溫速度: 10°C/min

小加熱器:

• 連續(xù)工作溫度: 0~500°C
• 升溫和降溫速度: 10°C/min

• CVD 爐和加熱器:
• PID/自整定的數(shù)字控制，具有 30段可控程序
• 熱偶:  K type
• 控溫精度: +/- 1°C
• 可用計(jì)算機(jī)進(jìn)行控制，相關(guān)硬件和軟件如下（選配）

控溫儀表操作視頻

CVD 爐: 右法蘭:  

• 水冷避免O型圈融化(水冷機(jī)可選配）
• KF25 真空 快接 (可與真空泵、波紋管、真空閥等連接）
• 可滑動(dòng)使客戶操作更簡單：樣品可快速 送入和取出
• 一個(gè)石英樣品支架 ( 3"dia. )：與石英擋板滑動(dòng)法蘭連成一體
• 左法蘭 (在CVD 爐和小加熱器之間):裝有4個(gè) 1/4'' 卡套連結(jié)的通氣管:
• 法蘭上有兩個(gè)獨(dú)立 1/4''口，可單獨(dú)將任何氣體通入 CVD 爐
• 一路 1/4'' 口將預(yù)熱氣體通入CVD 爐
•  一路1/4''口將不加熱的氣體通入CVD 爐(在 CVD 爐內(nèi), 通過“T”型結(jié)構(gòu)與加熱氣體匯合。)

單相, 220V AC, 50/60 Hz, 

 3KW (要求20 A 空開)

1200(L)X450(W)X510(H)mm

100kg

一年質(zhì)保期(不包括爐管，硅膠 O 型圈和加熱元件等損耗件.)

CE 認(rèn)證

所有電器元件（>24V）都通過 UL / MET / CSA 認(rèn)證

若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國 TUV 認(rèn)證或 CAS 認(rèn)證

注意事項(xiàng)

①爐管內(nèi)氣壓不可高于 0.02MPa

②由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為 0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全

③當(dāng)爐體溫度高于 1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)

④進(jìn)入爐管的氣體流量需小于 200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊

⑤石英管的長時(shí)間使用溫度＜1100℃

⑥對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于 0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）