簡要描述：YAMATO等離子裝置，13.56MHz 高頻輸出的等離子清洗機，搭載 RIE#183;DP 雙模式。使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單"的臺式高性能型號，調(diào)取數(shù)據(jù)簡單，以電子材料為中心，可對應(yīng)多種用途。特征：可變更電極構(gòu)造提高等離子效果。搭載高精度適配器，高性能RF 電源。可根據(jù)需求規(guī)格提供定制。

產(chǎn)品介紹

YAMATO等離子裝置，13.56MHz 高頻輸出的等離子清洗機，搭載 RIE·DP 雙模式。

使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式高性能型號，調(diào)取數(shù)據(jù)簡單，以電子材料為中心，可對應(yīng)多種用途。

特征：

• 可變更電極構(gòu)造提高等離子效果。
• 搭載高精度適配器，高性能RF 電源。
• 可根據(jù)需求規(guī)格提供定制。

用途：

• 硅晶圓的灰化及蝕刻
• 基板表面污垢處理
• IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
• 半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗
• 自然氧化膜·有機物去除
• 界面活性處理
• 表面污染物去除

技術(shù)參數(shù)：

型號	V1000	V1000X	V1000XS
等離子模式	DP/RIE
高頻電源	13.56MHz
輸出功率	Max1000W	Max1000 & 1500W
有效電極尺寸	W280×D280mm	W300×D300mm	W400×D375mm
電極	平行平板	2段電極（獨立）	平板（多目的）
反應(yīng)氣體	聚合控制器2系統(tǒng)（填充氣路另行安裝）
真空泵（標配）	約1000L/min	約1500L/min	1000 & 1500L/min
安全裝置	門檢測開關(guān)、聯(lián)鎖機構(gòu)、緊急停止開關(guān)、溫度過升防止器等

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PDC600小型、多段式等離子清洗機。

用途：

• 提高各種材料的粘接性、表面改質(zhì)處理
• 灰化、蝕刻處理
• 塑料封裝前處理
• 印刷基板鍍層前處理
• LED關(guān)聯(lián)部品處理
• 電子部品清洗
• 光刻膠剝離或表面殘留物去除
• 光學、金屬、機械部品等精密部件的清洗
• 包含氟化樹脂的樹脂類產(chǎn)品表面改質(zhì)
• FCC對應(yīng)

特征：

• YAMATO等離子裝置，600W的小型高輸出功率
• 電極可選擇1·2·3段（采購時選）
• 可處理縱型的試料收納盒
• 可選擇RIE/DP模式（采購時選）
• 數(shù)據(jù)記錄器（選配）
• 適配點記憶功能（選配）

技術(shù)參數(shù)：

型號	PDC610
等離子模式	RIE/DP（固定模式）
電極構(gòu)造	3段獨立平行平板（固定）
高頻輸出	Max600W
頻率	13.56MHz
控制·顯示方式	PLC·觸摸屏
反應(yīng)腔尺寸	W350×D270×H300mm
反應(yīng)腔材質(zhì)	A5052
反應(yīng)氣體	2系統(tǒng)（Ar、O2）
填充氣體	N2或干燥空氣
真空泵	油泵（約345L/分）·標配
外形尺寸	W600×D722×H700mm
外裝材質(zhì)	不銹鋼
電源	3 相 AC200 50/60Hz 15A