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產(chǎn)品簡介
ASTRON®系列遠(yuǎn)程等離子體源基于NF3等含氟氣體電離，產(chǎn)生活性氣體，廣泛地應(yīng)用于CVD等工藝腔清洗，它具有功率大，效率高等特點(diǎn)。產(chǎn)品有：
?ASTRON®Paragon AX7700 (6升)，新一代遠(yuǎn)程等離子體源
?ASTRON®i AX7670 (3升)
?ASTRON®ex AX7685 (6升)
?ASTRON®hf-s AX7645 (15升，分體式)
?ASTRON®hf AX7640 (15升)
?ASTRON®hf+ AX7635 (22升)
?ASTRON®G7 AX7667 (30升)
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