產(chǎn)品名稱

VTC-16-3HD 3 靶等離子濺射儀

產(chǎn)品型號

VTC-16-3HD 3

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃， 濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度 99.99%以上）清洗，需自備氬氣氣瓶

4、工作臺： 尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重 50kg 以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1 、PLC 控制面板， 4.3″觸摸屏， PID 控溫方式。

2、可控參數(shù)包括真空度、電流、靶材位置、基片加熱溫度。

3、可與真空泵、 不銹鋼波紋管 KFD25 快速卸裝卡箍連用。

4 、已通過 CE 認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1、輸入功率： 110V/220V 通用   2000W  （含真空泵）

2、輸出功率： 1600VDC    50mA（max 電流）

3、石英罩： ?160mm×120mm

4、樣品臺： ?50mm  （可選購加熱型樣品臺，極限溫度可到500℃； 極限濺射時間不可超過5min）

5、真空泵： 120L/M 旋片式真空泵

6、進(jìn)氣口：裝有精密可調(diào)針閥，以實(shí)現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進(jìn)氣量

7、靶材：尺寸直徑 ?47mm ，厚度 0.5mm-3mm；可濺射 Au 、Ag 、Pt 、Cr 、Ni，不可濺射氧 化物、半導(dǎo)體、一些輕金屬、 Al 、Zn 、C 等

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 360mm ×350mm×3600mm；重量： 50kg

可選配件

1 、KF25 真空接口、卡箍

2、不銹鋼波紋管（600mm）

3、旋片式真空泵（ 120L/M）

4、鉑、銀、鋅等各種高純度金屬靶材

5、加熱型樣品臺