FG10/15 超純氣體過濾器專為電子級氣體超純凈化開發(fā)設(shè)計，過濾精度可達(dá) 1.5nm。設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊，

強度高，與所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體具有良好的兼容性。推薦用于惰性和反應(yīng)性氣體。

產(chǎn)品特點

316L 不銹鋼電子級拋光外殼

高通量低壓損

優(yōu)異的化學(xué)相容性

耐高溫、高壓

100％完整性測試

100％氦氣泄漏測試

潔凈室制造和包裝

典型應(yīng)用

晶圓制程 PVD、

CVD、刻蝕、

離子注入等工藝氣體過濾

技術(shù)參數(shù)

• 濾材：聚四氟乙烯（PTFE）
• 骨架與端蓋：可熔性聚四氟乙烯（PFA）
• O型圈：全氟醚橡膠（FFKM）
• 殼體：方案一：低硫316L；方案二：超純316L（VAR/VIM+VAR）
• 表面處理：外表面：Ra<1.6μm；內(nèi)表面：電解拋光，Ra<0.2μm
• 顆粒攔截粒徑：≥1.5nm
• 顆粒攔截效率：≥99.9999999%（9 LRV）@30 slpm
• 氮氣泄露率：驗證漏率：2×10?¹?atm.cc/sec；測試漏率：1×10??atm.cc/sec
• 進(jìn)口壓力：207bar@23℃
• 正向壓差：4bar@23℃
• 反向壓差：0.7bar@23℃
• 使用溫度：120℃
• 流量范圍：0~60slpm
• 下游潔凈度：顆粒釋放：<0.03 particles/liter（<1 particle/ft³）@>0.01μm；揮發(fā)物：<10 ppb moisture