氣體質(zhì)量傳感器FS4003的產(chǎn)品概述：FS4000是美國(guó)矽翔微機(jī)電系統(tǒng)有限公司采用的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感器技術(shù)和智能電子控制技術(shù)，專(zhuān)為普通氣體流量監(jiān)測(cè)開(kāi)發(fā)的產(chǎn)品

氣體質(zhì)量傳感器FS4003的產(chǎn)品概述：

1. FS4000是美國(guó)矽翔微機(jī)電系統(tǒng)有限公司采用的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感器技術(shù)和智能電子控制技術(shù)，專(zhuān)為普通氣體流量監(jiān)測(cè)開(kāi)發(fā)的產(chǎn)品。
2. 該傳感器能直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量，低壓損。適用于凈化空氣或氮?dú)饬髁勘O(jiān)控，還可用于環(huán)境采樣器（如色譜分析儀器等）
3. FS4003流量傳感器，管道內(nèi)徑為3mm，成本低測(cè)量范圍到5SLPM；適用于粒子計(jì)數(shù)器和各類(lèi)分析儀器。
4. FS4008流量傳感器，管道內(nèi)徑為8mm，測(cè)量范圍到50SLPM；可用于麻醉設(shè)備、潔凈氣體檢測(cè)，如：空氣采樣機(jī)，氣體分析儀等

氣體質(zhì)量傳感器FS4003的產(chǎn)品特點(diǎn)：

• 專(zhuān)為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測(cè)量而設(shè)計(jì)
• 支持多種連接方式，易于安裝與使用
• 傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量，無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償，保證了傳感器的高精度計(jì)量
• 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高
• 輸出方式靈活，既可通過(guò)通訊接口主動(dòng)上傳數(shù)據(jù)或由上位機(jī)查詢(xún)輸出數(shù)據(jù)，也可通過(guò)模擬接口輸出線(xiàn)性的模擬電壓
• 零點(diǎn)穩(wěn)定度高
• 全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
• 低功耗、低壓損
• 響應(yīng)速度快
  

氣體質(zhì)量傳感器FS4003的產(chǎn)品的技術(shù)參數(shù)：

性能參數(shù)	FS4003	FS4008	單位
通 徑	3	8	mm
流量	2, 3, 4, 5	10, 20, 30, 40, 50	SLPM
量程比	≥100:1
精 度	±(1.5+0.2FS)		%
重復(fù)性	0.25		%
零點(diǎn)輸出飄移	±30		mV
輸出飄移	±0.12		%/℃
響應(yīng)時(shí)間	10（默認(rèn)，50，100，200，500，1000可設(shè)置）		msec
工作電源	8~18Vdc,50mA
輸出方式	線(xiàn)性，RS232/RS485,模擬電壓0.5~4.5Vdc
流量壓損	100	600	Pa
工作壓力	0.5		MPa
工作溫度	-10 ~ + 55		℃
存儲(chǔ)溫度	-20 ~ + 65		℃
工作濕度	<95%RH（無(wú)結(jié)冰、無(wú)凝露）
機(jī)械接口	BSPT1/4（R1/4）,4mm/6mm/8mm快速接頭
校準(zhǔn)方式	空氣（或其他氣體），20℃，101.325kPa
重量	57（帶R1/4,BSPT1/4接口） 71(帶4mm，8mm快速接口，68（帶6mm快速接頭)		g

輸出方式為傳感器的標(biāo)準(zhǔn)輸出方式，用戶(hù)可根據(jù)不同需求選擇RS232或RS485輸出。