濺射鍍膜機(jī) Leica EM ACE600

碳、電子束和濺射鍍膜——精度值得信賴

使用 EM ACE600 濺射鍍膜機(jī)，充滿信心地制備用于電鏡分析的細(xì)粒度薄膜。 精確的自動(dòng)化碳鍍膜和濺射鍍膜工藝可產(chǎn)生值得信賴的可重現(xiàn)結(jié)果，提高每次運(yùn)行的樣本產(chǎn)出。

通過方便的前門裝載方法、僅需按下一個(gè)按鈕即可啟動(dòng)的收料即鍍式自動(dòng)化鍍膜過程，EM ACE600 可以讓您簡(jiǎn)單可靠地制備常規(guī)樣本并節(jié)省寶貴的時(shí)間。

適合廣泛應(yīng)用領(lǐng)域的高真空鍍膜系統(tǒng)

EM ACE600 濺射鍍膜機(jī)裝有可配置式金屬處理室，十分靈活，適合廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域。 實(shí)現(xiàn)工作流程目標(biāo)，滿足實(shí)驗(yàn)室需求——可在同一個(gè)制備過程中運(yùn)行兩個(gè)不同的濺射源，還可配置 EM ACE600 用于高級(jí)冷凍工作流程。

無(wú)論您需要……

●對(duì)扁平或結(jié)構(gòu)化的非導(dǎo)電樣本進(jìn)行高分辨率成像

●增強(qiáng)納米級(jí)結(jié)構(gòu)（如蛋白質(zhì)或 DNA 鏈）的對(duì)比度

●生成透射電鏡 (TEM) 載網(wǎng)的薄而堅(jiān)固的支撐層，或者

●為敏感樣本提供保護(hù)層

●擴(kuò)展冷凍應(yīng)用中的系統(tǒng)

……使用 EM ACE600 碳鍍膜和濺射鍍膜機(jī)，皆可實(shí)現(xiàn)。

通過濺射鍍膜獲得可重現(xiàn)的高品質(zhì)薄膜

使用 EM ACE600 高真空鍍膜系統(tǒng)，每次運(yùn)行均可始終一致地生成高品質(zhì)的濺射鍍膜薄膜。 使用收料即鍍的自動(dòng)化濺射鍍膜工藝，滿足鍍膜所需的適當(dāng)條件并實(shí)現(xiàn)可重現(xiàn)的結(jié)果。

可進(jìn)行高達(dá) 200kX 的高放大倍率掃描電鏡 (SEM) 分析，具有出色的基礎(chǔ)真空度（<2x10-6 mbar），可為各種不同的濺射靶材仔細(xì)均衡調(diào)整工藝參數(shù)。="">

為進(jìn)一步加強(qiáng)鍍膜效果，可以使用 Meissner 捕集器將真空度提高到 10-7 mbar，之后再嘗試對(duì)氧敏感的濺射靶材或樣本材料。

不同材料的2納米厚的細(xì)粒度濺射鍍膜，沉積在 SiOx 基材上，200kX 放大倍率。

通過碳鍍膜獲得可重現(xiàn)的高品質(zhì)薄膜

EM ACE600 可以通過碳絲鍍膜、碳棒鍍膜或電子束蒸發(fā)生成高品質(zhì)碳膜。

自從徠卡顯微系統(tǒng)開發(fā)出應(yīng)用于 EM ACE600 的獨(dú)特自適應(yīng)脈沖方法以來(lái)，

碳絲蒸發(fā)已成為一種廣泛使用的方法。 它可生成精確、穩(wěn)定、非晶態(tài)的亞納米級(jí)厚度的薄膜，同時(shí)限度減少對(duì)樣本的熱損傷影響。 無(wú)論您需要納米級(jí)厚度、堅(jiān)固且潔凈的透射電鏡支撐層、擴(kuò)散（保護(hù)）鍍膜還是大面積均質(zhì)碳層，碳絲都是適合您需求的。

對(duì)于專用應(yīng)用領(lǐng)域，如旋轉(zhuǎn)投影，可以使用電子束蒸發(fā)器。 其小光束發(fā)散功能非常適合投影鍍膜，可增強(qiáng)納米級(jí)結(jié)構(gòu)的邊緣對(duì)比度。

精確碳沉積（1 - 5納米厚碳膜）

按需配置 EM ACE600

通過 EM ACE600 的大型可配置金屬處理室，可在不破壞真空的情況下用一臺(tái)鍍膜機(jī)運(yùn)行多個(gè)制程。 同時(shí)，將濺射頭與的碳絲蒸發(fā)器結(jié)合使用或者選用兩個(gè)濺射源，可在一次制備過程中完成多層金屬鍍膜。

●采用經(jīng)過優(yōu)化的帶兩個(gè)斜角端口和一個(gè)旋轉(zhuǎn)臺(tái)的雙源方法，可在整個(gè)100毫米樣本臺(tái)上生成均勻分布的薄膜

●有穩(wěn)定的碳絲、電子束和濺射鍍膜機(jī)濺射源可供選擇

●為您的 EM ACE600 裝配輝光放電濺射功能

●可隨時(shí)在現(xiàn)場(chǎng)升級(jí)

適用于雙源的 ACE600 可配置端口。 有以下配置可供選擇： 1- 碳絲蒸發(fā) | 2- 濺射 | 3- 碳棒蒸發(fā) | 4- 電子束蒸發(fā)

專注于制備過程的關(guān)鍵部分

使用 EM ACE600 碳鍍膜和濺射鍍膜機(jī)，只需按下一個(gè)按鈕即可讓您充滿信心地完成常規(guī)樣本制備。 簡(jiǎn)單可靠的工作流程和便捷的標(biāo)準(zhǔn)操作程序讓您能夠?qū)Ｗ⒂陔婄R樣本制備的關(guān)鍵部分。 您可以專注于優(yōu)化工作流程，減少自己學(xué)習(xí)操作方法或培訓(xùn)他人使用方法的時(shí)間。

●通過前門安全裝卸敏感樣本

●基于工作流程的用戶界面，可快速訪問相關(guān)參數(shù)，全程引導(dǎo)式操作

●輕量、穩(wěn)定的濺射源，方便日常操作

EM ACE600 觸摸屏，通過基于工作流程的用戶界面操作

擴(kuò)展至冷凍工作流程

在冷凍條件下為樣本鍍膜，提升實(shí)驗(yàn)室電鏡實(shí)驗(yàn)?zāi)芰Α?將樣本冷凍斷裂和冷凍鍍膜后，通過 EM VCT500 傳輸系統(tǒng)將冷凍樣本傳輸至掃描電鏡，EM ACE600 碳鍍膜和濺射鍍膜機(jī)可幫助制備樣本用于研究，如在生物樣本原生和水合狀態(tài)下的結(jié)構(gòu)分析。

EM ACE600 提供：

用于傳輸冷凍樣本的接口

用于低溫冷凍條件下鍍膜的冷凍臺(tái)

基本型斷裂裝置

裝配 EM VCT500 冷凍傳輸系統(tǒng)的 EM ACE600

選擇優(yōu)化配置

配置 EM ACE600 碳鍍膜和濺射鍍膜機(jī)，滿足實(shí)驗(yàn)室日常工作需求。

有各種樣本支架和樣本臺(tái)可供選擇，例如帶有多達(dá) 3 個(gè)電動(dòng)軸的 3 軸樣本臺(tái)或?qū)Ｓ美鋮s臺(tái)。

可快速更換的樣本臺(tái)基片使 EM ACE600 成為多功能工具。

1：電動(dòng) 3 軸樣本臺(tái) | 2：旋轉(zhuǎn)投影（LARS）樣本臺(tái) | 3：旋轉(zhuǎn)“手動(dòng)”樣本臺(tái) | 4：冷凍臺(tái)

超薄碳膜

碳鍍膜在電鏡領(lǐng)域的應(yīng)用十分廣泛。 它需要具有導(dǎo)電性，但對(duì)電子束透明，并且不能具有顆粒結(jié)構(gòu)。

采用自適應(yīng)脈沖方法的 EM ACE600 碳絲所生成的薄膜，厚度精確、堅(jiān)固并具有導(dǎo)電性，還可以通過烘焙法進(jìn)一步減少污染。 最終，這類薄膜提供：

●對(duì)電子的高透明度

●足以承受電子轟擊的強(qiáng)度

●均勻的厚度，這對(duì)于分析研究、定量成像或電子斷層掃描至關(guān)重要

A：常規(guī)碳膜（15納米碳）；B：超薄碳膜（3納米）。 輕松觀察硒化鎘 (CdSe) 量子

片的晶格。 圖片由比利時(shí) Eva Bladt 和 Sara Bals（EMAT，安特衛(wèi)普大學(xué)）采集。

提供方： Frederic Leroux 和 Jan de Weert。 樣本提供方： Daniel Vanmaekelbergh，

烏特勒支大學(xué)納米材料科學(xué)研究所（Debye Institute for Nanomaterials Science, University of Utrecht）

旋轉(zhuǎn)投影—使納米級(jí)結(jié)構(gòu)清晰可見

以專用小角度旋轉(zhuǎn)投影（LARS）設(shè)置配置 EM ACE600，可在透射電鏡中對(duì)納米級(jí)結(jié)構(gòu)（如蛋白質(zhì)或 DNA 鏈）成像。 EM ACE600 電子束源與電動(dòng) LARS 樣本臺(tái)將指令、低熱損傷影響、薄膜沉積與優(yōu)化的樣本臺(tái)幾何結(jié)構(gòu)相結(jié)合，可實(shí)現(xiàn)掠角入射沉積。 用細(xì)粒度鉑層以小角度對(duì) DNA 鏈進(jìn)行投影鍍膜，然后添加碳層穩(wěn)定脆性結(jié)構(gòu)，以便在 TEM 中進(jìn)行分析。

出芽酵母（S.cerevisiae，釀酒酵母）的 DNA 復(fù)制分叉的 TEM 圖片，

使用 EM ACE600 電子束鍍膜機(jī)通過小角度旋轉(zhuǎn)投影方法獲得

標(biāo)準(zhǔn)掃描電鏡工作流程

使用標(biāo)準(zhǔn)掃描電鏡工作流程研究化學(xué)固定樣本的表面結(jié)構(gòu)。 使用 EM TP 組織處理機(jī)制備樣本，然后使用 EM CPD300 對(duì)樣本進(jìn)行臨界點(diǎn)干燥。 下一步是使用 EM ACE200 或 EM ACE600 對(duì)樣本鍍膜，然后在掃描電鏡中成像。

1）自動(dòng)組織處理（EM TP） |（2）自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥（EM CPD300） |

（3）碳鍍膜和/或?yàn)R射鍍膜（EM ACE200 / EM ACE600） |（4）在 SEM 中分析圖像