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優(yōu)點(diǎn)：

1、擴(kuò)展樣品空間

兩種手動(dòng)和一種電動(dòng)機(jī)柱可供選擇，充分利用顯微鏡 300 mm 橫向與縱向移動(dòng)距離和254 mm 垂直深度的優(yōu)勢(shì)。無(wú)論是檢測(cè)較重的樣品，或與 LSM 700 激光掃描顯微鏡組合使用 –結(jié)實(shí)的機(jī)柱使其具有穩(wěn)定性高和無(wú)震動(dòng)的特點(diǎn)。選擇適用于反射光與透射光的各種載物臺(tái)及樣品夾，讓您的應(yīng)用擴(kuò)展無(wú)極限。

2、認(rèn)證的超凈室組件

晶圓和光掩模檢測(cè)對(duì)潔凈度要求均十分嚴(yán)格。、Axio Imager Vario 已通過 DIN ENISO14644-1標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，其超凈室組件能滿足超凈室等級(jí) 5 的要求。多種附件可選，如配有顆粒保護(hù)罩和防噴嚏保護(hù)罩的 7 孔物鏡轉(zhuǎn)盤， 能有效保證樣品持續(xù)潔凈，充分發(fā)揮機(jī)器性能。

3、隨時(shí)實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)自動(dòng)聚焦

集成有 Auto Focus 快速自動(dòng)聚焦硬件系統(tǒng)的Axio Imager Vario 可用于高射、低對(duì)比度樣品的表面檢測(cè)。聚焦系統(tǒng)能夠保證聚焦精度達(dá)到所使用物鏡景深的 0.3 倍，且適用于反射光與透射光應(yīng)用。當(dāng)傳感器檢測(cè)到聚焦位置發(fā)生微小變化時(shí)，系統(tǒng)快速自動(dòng)補(bǔ)償偏差。即便是大尺寸樣品，在 XY 方向上也能實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)聚焦。

應(yīng)用領(lǐng)域
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ZEISS Axio Imager Vario 與 ZEISS LSM 700組合使用

Axio Imager Vario 與 LSM 700 組合使用開啟應(yīng)用新境界。尤其針對(duì)需要高分辨率解析、無(wú)接觸式分析的樣品。光學(xué)分辨率可達(dá) 120 nm 線寬左右。使用 LSM 700 能夠精確的檢測(cè)與定位納米級(jí)的表面缺陷。兩者組合使用則可以對(duì)激光絕緣刻槽（激光刻蝕）及薄膜太陽(yáng)電池表面進(jìn)行形貌檢測(cè)，從而更精確地測(cè)定激光刻槽和表面粗糙度。另一個(gè)典型應(yīng)用是檢測(cè)晶體硅太陽(yáng)電池銀漿的表面形貌，并依據(jù)檢測(cè)結(jié)果來(lái)評(píng)估絲網(wǎng)印刷的質(zhì)量