涂裝廢氣、烤箱廢氣所產(chǎn)生的有機(jī)物在等離子體光催化中的氧化降解主要有以下幾個(gè)過程：

另外，由于活性離子和自由基氣體放電時(shí)一些高能激發(fā)粒子向下躍遷能產(chǎn)生紫外光線，當(dāng)光子或電子的能量大于半導(dǎo)體禁帶寬度時(shí)，就會(huì)激發(fā)半導(dǎo)體內(nèi)的電子，使電子從價(jià)帶躍遷至導(dǎo)帶，形成具有很強(qiáng)活性的電子空穴對(duì)，并進(jìn)一步誘導(dǎo)一系列氧化還原反應(yīng)的進(jìn)行。光生空穴具有很強(qiáng)的獲得電子能力，可與催化劑表面吸附的O2 和H2O發(fā)生反應(yīng)生成羥基自由基，從而進(jìn)一步氧化污染物。由于等離子體放電光催化過程有大量高能電子沖擊、活性粒子、紫外線輻射等綜合因素的協(xié)同作用，因而可以更快速有效地分解空氣中有害物質(zhì)和滅菌除臭。

等離子體光催化它集合了等離子和光催化的優(yōu)點(diǎn)，優(yōu)勢(shì)互補(bǔ)，而且兩者之間能夠起到協(xié)同作用，克服雙方存在的缺點(diǎn)，相互促進(jìn),，因而對(duì)空氣污染物具有優(yōu)良的去除效果。等離子體光催化技術(shù)具有凈化效率高、能耗低、適應(yīng)性廣、光催化劑自動(dòng)活化等優(yōu)點(diǎn)，在去除有機(jī)廢氣中顯示非常好的效果。