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  • 500oC 真空熱壓機--VHP-5T-4
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2026/1/9 16:49:47

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品詳細介紹: VHP-5T-4是一款電動真空平板式真空熱壓機,針對于晶片的焊接或薄膜轉移,其可處理樣品尺寸為100mmx100mm

500oC 真空熱壓機--VHP-5T-4詳細信息

  產(chǎn)品詳細介紹:

  VHP-5T-4是一款電動真空平板式真空熱壓機,針對于晶片的焊接或薄膜轉移,其可處理樣品尺寸為100mm x 100mm。儀器工作溫度為500℃,在此溫度下可對樣品實加的壓力為6T。

 

  技術參數(shù):

 

主要參數(shù)

·功率:2000W

·電源: 208 - 240VAC, 50 Hz 單相

結構

·兩塊135mm x135mm加熱平臺,采用高溫合金鋼制成,可承受溫度為500℃

·加熱管嵌在加熱平臺的中間,以達到快速加熱的效果

·兩個精密的溫控器獨立控制兩塊加熱平臺,可設置30段升降溫程序

·水冷管設計在加熱平臺的頂端,以達到快速冷卻的效果  


 

液壓泵

·40T的電動液壓機與真空腔體相連接

·兩個加熱平臺之間的可移動距離為60mm

·自動壓力控制并帶有數(shù)顯壓力顯示

·壓力控制精度為+/-0.5 Mpa

·兩個加熱平臺工作溫度為500℃,加熱平臺頂端安裝有冷卻水管。當工作溫度高于200℃時,請注入冷卻水(>15L/min)

溫控系統(tǒng)和壓力顯示

·兩個精密的溫控系統(tǒng)可設置30段升降溫程序,其控溫精度為±5℃,分別獨立控制兩個加熱平臺

·溫控系統(tǒng)采用PID方式進行溫度調節(jié),并帶有過熱和斷偶保護

·工作溫度為500℃

·建議升溫速率:0-400℃≦4℃/min 400-500≦2.5℃/min

·軟件和PC接口安裝在控溫儀表上,可將溫度程序和溫度曲線導入到電腦中

·數(shù)字壓力顯示器(控制器)安裝在真空腔體外,可設置其壓力,當壓力達到設置值時電機將自動停止

 

真空腔體

·電動液壓裝置和加熱臺都安裝在真空腔體內

·真空腔體采用304不銹鋼制作,并焊接有加強筋(防止真空狀態(tài)下腔體變形),真空度可以達到10E-3 torr

·內部腔體尺寸為:372mm(L) x 420mm(W) x 480mm(H)

·真空腔體前端有一直徑為150mm的觀察窗口

·一個真空計安裝在真空腔體上,測量內部的真空度

 

 水冷(可選)

·一臺循環(huán)水冷機,用于冷卻加熱板,防止過熱和更快冷卻。需額外購買

真空泵(可選)

·機械泵的真空度可以達到<5×10E-2Torr(冷態(tài)下參考值)

 外形尺寸

800mm(L) x 550mm(W) x 1350mm(H)

認證

CE認證

質保期

一年保修,終身技術支持。 

特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。

使用注意事項

注意:氣瓶上必須安裝一個減壓閥,以保證安全操作。

免責聲明

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