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Teledyne API水冷式臭氧發(fā)生器OG-5000
OG-5000系列臭氧發(fā)生器是為滿足半導(dǎo)體工業(yè)中對(duì)高濃度潔凈臭氧的需求而設(shè)計(jì)的，可應(yīng)用于化學(xué)氣相沉積、原子層沉積、氧化物生長(zhǎng)和濕臺(tái)流程中。OG-5000系列設(shè)計(jì)緊湊，使用水冷系統(tǒng)，能夠簡(jiǎn)便的整合進(jìn)TAPI的臭氧系統(tǒng)控制器、臭氧泄露探測(cè)器、臭氧濃度監(jiān)測(cè)器和臭氧破壞器中。Teledyne API水冷式臭氧發(fā)生器OG-5000該儀器經(jīng)過驗(yàn)證的技術(shù)使得它可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體流程中。
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