產(chǎn)品簡介
 | 主要特點(diǎn)： 1. 集成液體氣化系統(tǒng)，可穩(wěn)定提供包括有毒液體在內(nèi)的反應(yīng)氣體條件； 2. 清洗鍍膜一氣呵成，杜絕二次污染； 3. 上開啟式結(jié)構(gòu)，方便觀察試樣； 4. 產(chǎn)品采用全自動控制方式，觸摸屏，數(shù)字化顯示； 5. 設(shè)備一體化程度高； 6. 穩(wěn)定的射頻電源，均勻的溫度分布，提高成膜質(zhì)量； 7. 出色的電磁波屏蔽方案，高效、安全！ | |||
| 設(shè)備型號 | NBD-PE1200-80TID2FY | |||
供電電源 | AC220V 50/60HZ | |||
控溫精度 | ±1℃ | |||
| 觸摸屏尺寸 | 7英寸 | |||
射頻頻率 | 13.56MHz | |||
射頻功率輸出范圍 | 0-200W | |||
| 沉積加熱額定功率 | 4.0KW | |||
| 蒸發(fā)器額定功率 | 1.3KW | |||
| 伴熱帶額定功率 | 75W | |||
| 傳感器類型 | K型熱電偶 | |||
| 沉積溫度 | 1200℃ | |||
沉積額定溫度 | 1150℃ | |||
蒸發(fā)器額定溫度 | 400℃ | |||
伴熱帶額定溫度 | 150℃ | |||
推薦升溫速率 | ≤10/min | |||
沉積管徑 | Φ80mm*1200mm | |||
| 蒸發(fā)源管徑 | Φ50mm*80mm | |||
| 蒸發(fā)源有效容積 | 50ml | |||
| PECVD 外形尺寸 | 長1500×高1280×深760mm | |||
| 蒸發(fā)器外形尺寸 | 長410×高350×深210mm | |||
| 氣氛條件 | 混合氣、真空等 | |||
| 機(jī)械泵抽氣速率 | 16 立方米每小時 | |||
爐腔極限真空度 | 3~5Pa | |||
法蘭結(jié)構(gòu) | 航空鋁快開模式； | |||
操作系統(tǒng) | NBD-101EP集中總線控制集成系統(tǒng)，7"全觸摸屏操控，智能模糊PID 控制；智能式人機(jī)對話模式； | |||
真空測試 | 數(shù)字真空計(jì)獲取裝置； | |||
設(shè)備細(xì)節(jié) |
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控制系統(tǒng) |  | 1、燒結(jié)工藝曲線設(shè)置：動態(tài)顯示設(shè)置曲線，設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線，每條工藝曲線可自由設(shè)置； 2、可預(yù)約燒結(jié)，實(shí)現(xiàn)無人值守?zé)Y(jié)工藝曲線燒結(jié)； 3、實(shí)時顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù)，并可導(dǎo)出實(shí)現(xiàn)無紙記錄； 4、具有實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程操控，實(shí)時觀測設(shè)備狀態(tài)； 5、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結(jié)全程進(jìn)行非線性修正。 | ||
弱腐蝕性氣體預(yù)熱器 （可選配） |  | 通體采用316L材料，對于各種氣體以及腐蝕性氣體的預(yù)加熱處理，滿足特殊的工藝需求，溫度達(dá)600℃。 | ||
可選配 （CRB升級型尾氣凈化器) |  | 本公司研制的NBD-B型外延爐尾氣凈化器，在結(jié)構(gòu)上綜合采用了2個噴洗室和1個填料柱室，洗滌器所產(chǎn)生的負(fù)壓由人工手動控制，補(bǔ)水系統(tǒng)由人工根據(jù)工藝情況調(diào)節(jié)。水溶性氣體的清除率高達(dá) 99.99％。凈化高、維護(hù)，運(yùn)行成本。 | ||
| PECVD+CRB升級型尾氣凈化器應(yīng)用 |  | |||
部分界面 |
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凈重 | 約300KG | |||
設(shè)備使用注意事項(xiàng) | 1.射頻匹配器一般處于自動匹配狀態(tài)，一般功率需達(dá)到50W以上才能匹配； 2.若采用手動匹配，將功率設(shè)到60W左右，手動調(diào)諧匹配合適時，再增加功率 | |||
服務(wù)支持 | 一年有限保修，提供終身支持； | |||
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