一、百級無塵烘箱百級無塵干燥箱百級無塵烤箱百級潔凈烘箱百級潔凈烤箱百級潔凈干燥箱簡介

WCX系列無塵烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

二．百級無塵烘箱百級無塵干燥箱百級無塵烤箱百級潔凈烘箱百級潔凈烤箱百級潔凈干燥箱特點：

1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 100

2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；

3.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國進口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(定制的風(fēng)道設(shè)計)方向送風(fēng)，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風(fēng)門)

4.強制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到較佳溫度控制精度。

三．百級無塵烘箱百級無塵干燥箱百級無塵烤箱百級潔凈烘箱百級潔凈烤箱百級潔凈干燥箱產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)：

1.主要技術(shù)指標：

無塵等級：Class 100;                   溫度范圍： 60～ +300℃；

溫度均勻度：200℃±4℃;             溫度波動度：±0.5℃（空載）        

溫控精度：±0.1℃;                        工作尺寸：W800×D600×H1300        

電源：380v , 50Hz，15KW         網(wǎng)板：2塊（高度可調(diào)節(jié))

2、百級無塵烘箱百級無塵干燥箱百級無塵烤箱百級潔凈烘箱百級潔凈烤箱百級潔凈干燥箱箱體結(jié)構(gòu)：

烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成，結(jié)構(gòu)合理，外觀美觀大方；

箱體材料：外箱采用SUS304 ，1.5mm之拉絲不銹鋼，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，可防止微塵；

內(nèi)膽材料：采用優(yōu)良SUS304，2.0mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產(chǎn)生 PARTICLE；

中桶材料：采用優(yōu)良SUS304，2.0mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密封加工(防污染)。

3、溫控系統(tǒng)：

采用智能微電腦溫度控制器，控制器LED數(shù)字顯示及設(shè)定、PID自動演算、薄膜設(shè)定，準確度±0.3%FS。；

訊號來源：采用PT100熱電阻±0.5%。

輸出被控制組件：SSR無接點訊號輸出。

4、*的安全保護措施：

漏電斷路器、     控制線路保險絲裝置、 超溫防止保護裝置、 電熱過電流保護裝置、

馬達過電流保護、 機臺異常蜂鳴器警示   逆向防止器、門面安全開關(guān)