分子泵電機(jī)主軸

適用于:半導(dǎo)體制造(晶圓刻蝕、沉積)精密儀器(電子顯微鏡、質(zhì)譜儀)生物醫(yī)藥(真空凍干、細(xì)胞培養(yǎng))航天航空(空間環(huán)境模擬、推進(jìn)系統(tǒng)測試)

優(yōu)點(diǎn)·:無接觸高精度支撐:實(shí)現(xiàn)微米級(jí)運(yùn)行穩(wěn)定性低損耗高效傳動(dòng):減少能量浪費(fèi)與發(fā)熱強(qiáng)環(huán)境與工況適應(yīng)性:耐受復(fù)雜負(fù)載與特殊場景

1.磁懸浮分子泵是為滿足半導(dǎo)體刻蝕、離子注入、

薄膜沉積、太陽能光伏、鋰電負(fù)荷集流體、真空鍍膜、科學(xué)研究等領(lǐng)域開發(fā)的真空獲得設(shè)備

2.磁軸承控制技術(shù)：為五自由度電磁軸承，采用動(dòng)態(tài)主動(dòng)閉路磁浮控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)反應(yīng)迅速、調(diào)節(jié)及時(shí)，保證高速運(yùn)轉(zhuǎn)軸系具有懸浮穩(wěn)定、運(yùn)轉(zhuǎn)可靠等顯著優(yōu)點(diǎn) 

3.電機(jī)驅(qū)動(dòng)控制技術(shù)：系列磁懸浮分子泵全部采用高效高速直流電機(jī)和伺服控制系統(tǒng)、軸系轉(zhuǎn)速自動(dòng)補(bǔ)償，實(shí)現(xiàn)啟動(dòng)平穩(wěn)、運(yùn)轉(zhuǎn)可靠、動(dòng)態(tài)能量自動(dòng)調(diào)節(jié)功能