| 用途 | 用于IC,晶圓等電子、半導(dǎo)體、醫(yī)療行業(yè)高潔凈度烘烤制程工藝 |
| 溫度范圍 | 室溫＋10℃～250℃ |
| 溫度波動(dòng)度 | 恒溫溫度波動(dòng)±0.5℃ |
| 溫度均勻度 | 計(jì)算方法:設(shè)定150℃,6點(diǎn)測(cè)溫,(max-min)/min≤3.5% |
| 工作室尺寸（mm） | 450（深）*450（寬）*600（高）（可自定） |
| 潔凈度（class） | Class100 |
| 氣體過(guò)濾 | 配有氣體過(guò)濾裝置，保證腔體內(nèi)潔凈度為100級(jí) |
| 隔板要求 | 每個(gè)腔體配二個(gè)隔板，用不銹鋼板沖孔制成 |
| 箱體外壁材料 | 冷軋鋼板靜電噴塑（或SUS304） |
| 箱體內(nèi)壁材料 | 為不銹鋼板內(nèi)壁氬弧焊（SUS316或SUS304） |
| 保溫材料 | 優(yōu)質(zhì)超細(xì)納米 |
| 氮?dú)饨涌?/span> | 能將箱內(nèi)空氣排出，確保烘烤的硅片是在氮?dú)庵羞M(jìn)行 |
| 控制方式 | 人機(jī)界面+PLC控制 |
| 氮?dú)饬髁?/span> | 0.3~0.5M3/H(可調(diào)，可選擇具有流量偏低/偏高報(bào)警功能,并實(shí)時(shí)監(jiān)控記錄曲線） |
| 超溫保護(hù) | 采用獨(dú)立的超溫保護(hù)裝置，確保溫度不超限；當(dāng)保護(hù)裝置動(dòng)作時(shí)，超溫保護(hù)裝置自動(dòng)切斷加熱電源并進(jìn)行聲光報(bào)警、控制儀采用LED顯示且可調(diào) |
| 計(jì)時(shí)方式 | 溫度達(dá)到制程設(shè)定值后開始計(jì)時(shí). |
| 排風(fēng)口 | 直徑50mm的排風(fēng)口,且安裝有調(diào)節(jié)風(fēng)閥 |
| 電氣安全保護(hù) | 風(fēng)機(jī)過(guò)載保護(hù)、加熱系統(tǒng)超溫保護(hù)、電磁門鎖保護(hù)、安全接地保護(hù). |
| MES軟件 | 可連接MES系統(tǒng) |
| 作業(yè)時(shí)掃碼可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)取所需作業(yè)程序,作業(yè)員只需確認(rèn)是否正確 | |
| 自動(dòng)記錄作業(yè)累計(jì)次數(shù)，作業(yè)批號(hào),作業(yè)人員,作業(yè)起止日期及時(shí)間,作業(yè)溫度曲線,作業(yè)條件,可自動(dòng)生成Excel報(bào)表 | |
| 有權(quán)限操作員需掃碼后才可操作此設(shè)備,且自動(dòng)記錄作業(yè)人員 |
上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司具有自主開發(fā)、設(shè)計(jì)能力。服務(wù)于電子、電力、通訊、航空航天等行業(yè)；多年來(lái)，公司以“真摯的服務(wù)、優(yōu)秀的品質(zhì)”為宗旨，為國(guó)內(nèi)外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務(wù)。贏得了國(guó)內(nèi)外客戶的，更為我們業(yè)務(wù)的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務(wù)也更精益求精，更*！
公司坐落于中國(guó)上海，奉賢區(qū)柘林鎮(zhèn)工業(yè)園區(qū)。公司擁有多臺(tái)的專業(yè)生產(chǎn)設(shè)備，公司是一個(gè)專注多年熱處理設(shè)備、儀器設(shè)備的生產(chǎn)廠家，擁有高的技術(shù)人才，高素質(zhì)的工作團(tuán)隊(duì)，豐富的生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)。主要業(yè)務(wù)項(xiàng)目有：半導(dǎo)體濕法設(shè)備， 硅片刻蝕機(jī)，清洗設(shè)備，HMDS預(yù)處理系統(tǒng)，HMDS烤箱，無(wú)塵烤箱，無(wú)氧烤箱，無(wú)塵無(wú)氧固化烤箱，真空烤箱，真空無(wú)氧固化烤箱，干燥烘箱，黑蒜設(shè)備，環(huán)境可靠性設(shè)備，電線電纜檢測(cè)儀器等設(shè)備，同時(shí)可根據(jù)客戶要求設(shè)計(jì)非標(biāo)類的產(chǎn)品。
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