產(chǎn)品簡介
●半導體制造
●真空鍍膜
●化工分析氣流測量與控制
1、具有流量精度高、線性好、零漂小。
2、氣流響應(yīng)速度快、氣阻小，工作壓力范圍寬。
3、耐壓高及適用于真空條件下工作。
4、氣體流量精度不因溫度、壓力的變化而變化。
5、閥體氣密材料采用抗腐蝕材料，耐腐蝕性強。
6、可任意角度安裝。
熱式質(zhì)量流量控制器，利用氣流流過毛細管，改變毛細管溫度分布， 造成上下游溫差方法，而測得氣體質(zhì)量流量。不同于容積式流量計，其流量精度 不受氣體壓力、環(huán)境溫度影響。由于上下游溫差總是實時反應(yīng)氣流瞬時流量， 所以特別適用于過程控制中的氣體流量的精密測量和控制。
| 項目 | 性能參數(shù) |
| 流量規(guī)格 | (100,150,200)L/min |
| 調(diào)節(jié)閥類型 | 電磁調(diào)節(jié)閥 |
| 調(diào)節(jié)閥靜止狀態(tài) | 常閉 |
| 流量控制范圍 | 5%-99%F.S. |
| 流量測量范圍 | 0%-99%F.S. |
| 響應(yīng)時間 | 2 sec（T98） |
| 工作環(huán)境溫度 | 5-50℃ |
| 精度保證溫度 | 15-35℃ |
| 精度 | ±1.0%F.S. |
| 線性精度 | ±0.5%F.S. |
| 重復性 | ±0.2%F.S. |
| 工作壓差 | （100/150/200)L/min:(100/150/200)-300kPa(D) |
| 耐壓 | 3MPa(G) |
| 接觸氣體材料 | 316L,PTFE, Viton |
| 管路接頭 | Swagelok:3/8″ Φ10 VCR:1/2″VCR:1/4″3/8″8 |
| 供電電源 | ±15VDC(±5%) +15V，<100mA -15V，<200mA |
| 輸入阻抗 | >1MΩ4-20mA；(可定制: 1-5V 或 0-5V，輸入阻抗>100kΩ) |
| 流量輸出信號 | (0-5)VDC |
| 負載能力 | ≤3mA4-20mA；(可定制: 1-5V 或 0-5V，負載能力≤3mA) |
| 電氣接頭 | D-SUB15,D-SUB9 |
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