JJF1682-2017光柵式測微儀校準規(guī)范

貨號：AUBAT-1682G

1.斜塊螺旋副式測微儀檢定器

校準5μm級10μm級示值誤差； 范圍10μm內(nèi)示值誤差 ≦0.25μm

2.鋼性表架（有帶筋工作臺）AUBAT-C100T

校準漂移

JJF1682-2017光柵式測微儀校準規(guī)范適用于0.1μm級行程為0~10mm、0.2μm級行程為0~25mm、0.5μm級行程為0~50mm、1μm級~10μm級行程為0~100mm的光柵式測微儀校準。光柵式測微儀 (簡稱測微儀) 也稱光柵測微儀、光柵長度計或光電測長儀，是以光柵副作為測量元件，將線位移量轉(zhuǎn)換為光電信號，經(jīng)電路處理并以數(shù)字顯示位移量的一種長度精密測量儀器。測微儀按其結(jié)構分為整體式和分體式兩類。整體式測微儀的傳感器與顯示單元在一整體上。分體式測微儀主要由傳感器(含信號電纜)和數(shù)顯表兩部分組成。

校準方法:

1.量塊-測微儀檢定器組合法

適用于準確度級別為 2μm級~10μm級測微儀示值誤

差范圍的校準。將測微儀安裝在分度值為 0.2μm的斜塊螺旋副式測微儀檢定器 (簡稱檢定器) 上，轉(zhuǎn)動檢定器微分筒使檢定器示值為其量程中間位置 (零位)，在檢定器工作臺面上放置零位量塊 (1 mm 量塊)，調(diào)整表架使測微儀位于距*大量程約 0.1 mm 處測微儀測頭位于量塊中心，測微儀置零。取下零位量塊并依次在檢定器工作臺面上放置不同尺寸的量塊并記錄測微儀示值(按測微儀行程等間隔分布受檢點，受檢點不應少于5 個)，測微儀各測點示值誤差。

2.漂移

將測微儀安裝在鋼性表架（有帶筋工作臺），使測微儀測桿軸線垂直于帶筋工作臺，將測微儀測桿壓縮至測微儀 1/3 行程左右位置且測微儀測頭觸及帶筋工作臺筋條中心，開機 15 min后每 10 min 記錄一次測微儀示值，取 1 h 內(nèi)測微儀示值*大值與*小值之差作為校準結(jié)果

3.垂直測量法

鋼性表架法（有帶筋工作臺）

將測微儀安裝在剛性表架上，使測微儀測桿軸線垂直于表架工作臺，在測頭與工作臺之間放置量塊，調(diào)整表架使測微儀位于 2/3 行程位置且測頭觸及量塊中心，提升測微儀測桿重復測量 9 次，以測微儀讀數(shù)*大值與*小值之差除以 3 作為校準結(jié)果。