| 參考價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品簡介
| 入口法蘭 | ISO250F |
| KF40 | |
| 吹掃口 | KF10 |
| 水冷卻接頭 | PT1/4 |
| 抽速 | |
| N2 | 2200 ls-1 |
| H2 | 1700 ls-1 |
| 壓縮比 | |
| N2 | >108 |
| H2 | >2.5 x 104 |
| 極限壓力 | 10-6 Pa |
| | (10-8 Torr) |
| 允許的大前級壓力 | 400 Pa |
| | (3 Torr) |
| 大氮?dú)馔掏铝? | 1500 sccm |
| 額定速度 | 27000 rpm |
| 啟動時(shí)間 | 7 分鐘 |
| 固定位置 | 任意 |
| 水冷卻流量 | 2 lmin-1 |
| 水冷卻溫度 | 5-25 °C |
| 壓力 | 0.3 MPa |
| 的吹掃氣體流量 | 20 sccm |
| 輸入電壓 | 200 至 240 (± 10) V 交流 |
| 功耗 | 1.5 kVA |
| 泵重量 | 61 kg |
| 控制器重量 | 12 kg |
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