一、產(chǎn)品介紹

PS-7是一款通過(guò)更換傳感器單元可以檢測(cè)多種氣體，可通過(guò)PDA讀取數(shù)據(jù)。通過(guò)更換傳感器就可以檢測(cè)多種氣體的半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)器；傳感器經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)和交付，無(wú)需現(xiàn)場(chǎng)氣體校準(zhǔn)。此外，無(wú)需工具即可輕松更換傳感器；小巧輕便的設(shè)計(jì)；通過(guò)LCD顯示屏輕松了解氣體濃度，報(bào)警狀態(tài)和錯(cuò)誤信息；采樣流量的自動(dòng)控制功能；當(dāng)插入與設(shè)置不同的傳感器時(shí)，傳感器具有防止錯(cuò)誤插入的功能；通過(guò)連接PDA，可以獲取存儲(chǔ)在檢測(cè)單元中的數(shù)據(jù)；轉(zhuǎn)換器單元（選件）可用于檢測(cè)NF3和CCl2；符合CE標(biāo)準(zhǔn)；符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)。產(chǎn)品用于石油化工、半導(dǎo)體制造等。

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

帶有氣體采樣流量自動(dòng)控制功能
LCD顯示，現(xiàn)場(chǎng)狀態(tài)一目了然
實(shí)現(xiàn)小型、輕量化
可簡(jiǎn)單地更換傳感器和采樣氣路
帶有防止傳感器單元錯(cuò)誤插入的功能
可以設(shè)定多樣的維護(hù)模式
組合對(duì)應(yīng)熱分解單元與定電位電解式傳感器，能檢測(cè)NF3等
實(shí)現(xiàn)了用PDA讀取數(shù)據(jù)
符合CE規(guī)格，SEMI規(guī)格

三、產(chǎn)品參數(shù)

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帶有氣體采樣流量自動(dòng)控制功能
LCD顯示，現(xiàn)場(chǎng)狀態(tài)一目了然
實(shí)現(xiàn)小型、輕量化
可簡(jiǎn)單地更換傳感器和采樣氣路
帶有防止傳感器單元錯(cuò)誤插入的功能
可以設(shè)定多樣的維護(hù)模式
組合對(duì)應(yīng)熱分解單元與定電位電解式傳感器，能檢測(cè)NF3等
實(shí)現(xiàn)了用PDA讀取數(shù)據(jù)
符合CE規(guī)格，SEMI規(guī)格