分子泵結構特點

泵腔內(nèi)有可旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子的四周帶有溝槽并用擋板隔開。每一個溝槽就相當于一個單級分子泵，后一級的入口與前一級的出口相連。轉(zhuǎn)子與泵殼之間有 0.01mm 的間隙。氣體分子由入口進入泵腔，被轉(zhuǎn)子攜帶到出口側，經(jīng)排氣管道由前級泵抽走。牽引分子泵的優(yōu)點是起動時間短，在分子流態(tài)下有很高的壓縮比，能抽除各種氣體和蒸汽，特別適于抽除較重的氣體。但同于它自身的弱點：抽速小，密封間隙太小，工作可靠性較差，易出機械故障等，因此除特殊需要外，實際上很少應用。曾一度被結構和制造簡單，抽速大的擴散泵所代替。
就是在油擴散泵開始得到廣泛應用的時代，人們在牽引分子泵的結構改進方面仍然做了許多工作。如 Holweck 、 Siehbahn 、 Gondet 等先后對 Gaede 型分子泵做了許多改進，提出了很多不同結構的新型牽引分子泵。但由于其結構仍較復雜，抽速低，因此未能得到廣泛應用。

分子泵的原理

分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級抽走的一種真空泵牽引分子泵氣體分子與高速運動的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動量，被驅(qū)送到泵的出口。