設備特點

　　6個容器共用一套真空抽氣系統(tǒng)，真空機組中每臺泵都能為全部或部分容器工作，體現(xiàn)備份設計理念，每個容器上均有獨立閥門控制，既可獨立工作，也可同時工作。該設備主要用于空間運動部件低氣壓放電試驗、高真空長壽命試驗、具有自動化程度高、操作簡單方便、長期運轉穩(wěn)定可靠等特點。

　　技術性能

　　1. 真空度：極限真空度5×10-5Pa，工作真空度≤1×10-3Pa；

　　2. 真空室尺寸：φ600×800mm；

　　3. 工位：6工位，既能同時運行，又可單獨運行；

　　4. 自動化程度高，可一機多用；

　　5. 設備已連續(xù)運行時間：12年。