山東潔凈廠房單向流與非單流的建設(shè)要求

氣流流型的確定應(yīng)充分考慮的因素有：滿足空氣潔凈度等級(jí)要求、一次建設(shè)投資、運(yùn)行維護(hù)費(fèi)、空氣過(guò)濾器等更換方便等。潔凈室內(nèi)氣流流型的設(shè)計(jì)要求，是基于數(shù)十年電子工廠潔凈廠房工作實(shí)踐的經(jīng)驗(yàn)總結(jié)，并結(jié)合氣流流型的實(shí)際狀況制定的。對(duì)潔凈室氣流流型的圖示。

潔凈廠房單向流與非單流的建設(shè)要求，電子工業(yè)潔凈廠房的氣流流型，空氣潔凈度等級(jí)為1-5級(jí)時(shí)，基本上采用單向流或混合流；空氣潔凈度等級(jí)為6-9級(jí)時(shí)，基本上采用非單向流，且混合流流型可應(yīng)用于所有各種空氣潔凈度等級(jí)的潔凈室。

潔凈室的送風(fēng)量是保證空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量，潔凈廠房?jī)?nèi)潔凈區(qū)的空氣潔凈度等級(jí)為5級(jí)或6級(jí)，氣流流型為非單向流，潔凈生產(chǎn)區(qū)送風(fēng)一般選用FFU，吊頂上FFU的滿布率為25%左右，微環(huán)境內(nèi)的空氣潔凈度等級(jí)為2-4級(jí)。單向流潔凈室的平均風(fēng)速下限值，在自動(dòng)化、機(jī)械化程度很高的潔凈室內(nèi)基本無(wú)人的情況下，有的潔凈室僅采用0.11m/S。

電子工業(yè)潔凈廠房中的凈化空調(diào)系統(tǒng)的主要形式為集中式和分散式，凈化空調(diào)系統(tǒng)的典型各種形式各具特點(diǎn)和適用性，在實(shí)際應(yīng)用中，應(yīng)根據(jù)具體工程項(xiàng)目的接室規(guī)模、空氣潔凈度等級(jí)和電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)及其要求確定，同時(shí)考慮運(yùn)行經(jīng)濟(jì)和降低能量消耗。三個(gè)系統(tǒng)各有利弊，其選擇主要與電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、能量消耗、建設(shè)投資等有關(guān)，有時(shí)也與業(yè)主的意愿有關(guān)，但今年來(lái)在集成電路潔凈廠房中，采用FFU系統(tǒng)日益增多。