日立場發(fā)射掃描電子顯微鏡REGULUS8200（冷場）

日立新型冷場發(fā)射掃描電鏡Regulus8200系列是集高分辨觀察和大束流分析與一體的掃描電鏡.Regulus8200冷場掃描電鏡不僅秉承以往冷場發(fā)射掃描電鏡的全部優(yōu)點,還大幅提高了探針電流,并極大增強了電流的穩(wěn)定性.

1. 創(chuàng)新型冷場電子槍，束流更大更穩(wěn)定，高分辨觀察和分析兼顧           
2. 大幅度提高的分辨率0.7nm@1kV、0.6nm@15kV)； 
3. 超高真空發(fā)射槍和樣品室，將樣品污染降至 
4. 選配頂端過濾器，可實現(xiàn)良好的成分對比度 
5. 優(yōu)異的擴展功能，可附加多種功能附件。