爐子和預(yù)加熱器

• 緊湊型CVD爐是由OTF-1200X-4 單溫區(qū)爐演變而來 :
• 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命
• 石英管：4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" L 工作溫度：1100oC
• 右邊帶樣品支架的法蘭是滑動的，方便操作在加熱器和CVD爐之間的法蘭是預(yù)加熱氣體的通道，同時也起密封作用。
• 在爐子左側(cè)的小加熱器是對輸入CVD 爐的氣體、液體、固體或混合物進行預(yù)加熱:
• 1.2''O.D x 6''L SS 作為加熱腔小加熱器工作溫度：600oC
• 左邊法蘭具有密封和氣體通道的作用。   詳細結(jié)構(gòu)請看下圖
  

加熱區(qū)

• CVD 爐: 400mm
• 小加熱器: 150mm

工作溫度

CVD 爐:

• 工作溫度: 1100°C ( < 2 hour )
• 連續(xù)工作溫度: 200~1000°C
• 升溫和降溫速度: 10°C/min

小加熱器:

• 連續(xù)工作溫度: 0~500°C
• 升溫和降溫速度: 10°C/min

溫度控制

• CVD 爐和加熱器:
• PID/自整定的數(shù)字控制，具有 30段可控程序
• 熱偶:   K type
• 控溫精度: +/- 1°C
• 可用計算機進行控制，相關(guān)硬件和軟件如下（選配）
• 控溫儀表操作視頻
  
  

真空和密封法蘭

CVD 爐: 右法蘭:  

• 水冷避免O型圈融化(水冷機可選配）
• KF25 真空 快接 (可與真空泵、波紋管、真空閥等連接）
• 可滑動使客戶操作更簡單：樣品可快速 送入和取出
• 一個石英樣品支架 ( 3"dia. )：與石英擋板滑動法蘭連成一體
• 左法蘭 (在CVD 爐和小加熱器之間):裝有4個 1/4'' 卡套連結(jié)的通氣管:
• 法蘭上有兩個獨立 1/4''口，可單獨將任何氣體通入 CVD 爐
• 一路 1/4'' 口將預(yù)熱氣體通入CVD 爐
• 一路1/4''口將不加熱的氣體通入CVD 爐(在 CVD 爐內(nèi), 通過“T”型結(jié)構(gòu)與加熱氣體匯合。)

額定電壓

單相, 220V AC, 50/60 Hz,

額定功率

3KW (要求20 A 空開)

外形尺寸

1200(L)X450(W)X510(H)mm

重量

100kg

質(zhì)保期

電器部分保修一年. ( 耗材：爐管、O型圈、加熱元件等不在保修范圍內(nèi))