| 參考價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
小型快速退火電爐采用紅外燈管加熱，通過(guò)滑動(dòng)爐體實(shí)現(xiàn)快速降溫。紅外線(xiàn)燈管是填充氣體內(nèi)含有部分鹵族元素或鹵化物的充氣白熾燈。這種紅外燈管加熱元件是為滑軌爐設(shè)計(jì)的,升溫速率可達(dá)到120℃/S。
應(yīng)用于半導(dǎo)體或太陽(yáng)能電池基片退火。也可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化物合金退火、電極合金化、氧化物生長(zhǎng)、離子注入后退火、薄膜沉積等工藝試驗(yàn).
小型快速退火電爐可在真空/氣氛/空氣等不同環(huán)境下通過(guò)快速移動(dòng)爐體，加之強(qiáng)風(fēng)冷設(shè)計(jì)，可對(duì)樣品進(jìn)行快速升降溫處理；管內(nèi)測(cè)溫設(shè)計(jì)，
溫控精度高,額定升溫速率50℃/s;緊湊的臺(tái)式設(shè)計(jì)，快速連接法蘭，減少了爐管因安裝造成損壞的可能，方便操作。
| 產(chǎn)品名稱(chēng) | RTP-小型快速退火爐 |
| 額定功率 | 9KW |
| 額定電壓 | 220AC 50/60Hz |
| 額定溫度 | 1000°C |
| 連續(xù)工作 | 950°C(<1 小時(shí)) |
| 加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 300mm |
| 恒溫區(qū)長(zhǎng)度 | 100mm |
| 加熱元件 | 紅外燈管 |
| 溫度控制 | 國(guó)產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)可編程50段程序控溫； |
| 控制精度 | ±1℃ |
| 石英管尺寸 | Φ110*380MM |
| 爐管材質(zhì) | 石英管 |
| 滑動(dòng)距離 | 355mm |
| 滑動(dòng)方式 | 手動(dòng)滑動(dòng) |
| 建議升溫速度 | 室溫900℃：30℃/sec 900℃~1000℃： 10℃/sec |
| 外形尺寸 | 950 X 350 X 530 mm |
| 重量 | 45Kg |
| 標(biāo)準(zhǔn)配置 | 氣路一套（含真空壓力表）石英管一支、高溫手套一副。76MM的樣品石英架一個(gè)。 |
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