SU8000系列--日立新型高分

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2023/11/27 15:10:22

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日立新型高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡SU8000系列--SU8020日立2011年新推出了SU8000系列高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡

SU8000系列--日立新型高分詳細(xì)信息

日立新型高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡SU8000系列--SU8020

日立2011年新推出了SU8000系列高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡，其中SU8020不光1kv的分辨率提升到1.3nm，并且在探測(cè)器設(shè)計(jì)上有新的突破，配置了Lower、Up-per和Top三個(gè)Everhart-Thornley型探測(cè)器，可以接受SE、LA-BSE和HA-BSE多種信號(hào)，實(shí)現(xiàn)微區(qū)的形貌襯度、原子序數(shù)襯度、結(jié)晶襯度和電位襯度的觀測(cè)；結(jié)合選配的STEM探測(cè)器，還可以實(shí)現(xiàn)明場(chǎng)像和暗場(chǎng)像的觀測(cè)；此外在半導(dǎo)體應(yīng)用中，還可以安裝EBIC探測(cè)器，采集感生電流圖像，極大豐富了信號(hào)的采集，對(duì)樣品的信息的收集達(dá)到了新的高度。

特點(diǎn)：
1. 優(yōu)秀的低加速電壓成像能力，1kv分辨率可達(dá)1.3nm
2. 日立的ExB設(shè)計(jì)，不需噴鍍，可以直接觀測(cè)不導(dǎo)電樣品
3. 配置Lower、Upper和Top三個(gè)Everhart-Thornley型探測(cè)器
4. Upper和Top探頭均可選擇接受二次電子像或背散射電子像
5. 可以根據(jù)樣品類型和觀測(cè)要求選擇打開或關(guān)閉減速功能
6. 標(biāo)配有冷指、電子槍內(nèi)置加熱器，物鏡光闌具有自清潔功能
7. 儀器的烘烤維護(hù)及烘烤后的透鏡機(jī)械對(duì)中均可由用戶自行完成

項(xiàng)目		SU8020	SU8030				SU8040
二次電子分辨率		1.0nm （加速電壓15kV、WD＝4mm）
		1.3nm （加速電壓1kV、WD＝1.5mm）
加速電壓		0.1～30kV
觀測(cè)倍率		20～8000,000(底片輸出)
		60～2,000,000（顯示器輸出）
樣品臺(tái)
馬達(dá)驅(qū)動(dòng)		5軸				REGULUS樣品臺(tái)
行程	X	0～50mm		0～110mm
	Y	0～50mm		0～110mm		0～80mm
	Z	360°
	T	-5～70°
	R	1.5～30mm			1.5～40mm
裝載尺寸		100mm（）			150mm（）			150mm（）
		150mm（選配）			200mm（選配）
探頭
標(biāo)配	Lower	高立體感圖像
	Upper	高分辨SE、LA-BSE圖像
	Top	SE的電位襯度像、HA-BSE圖像
選配	STEM	明場(chǎng)像、暗場(chǎng)像
	YAG 探頭	BSE圖像
	半導(dǎo)體探頭	BSE圖像
	EBIC	電子束感生電流圖像
	EDS	元素分析
反污染措施
冷指		標(biāo)配
物鏡光闌		內(nèi)置自清潔功能
電子槍		內(nèi)置加熱器
真空系統(tǒng)
離子泵		3臺(tái)
分子泵		1臺(tái)
機(jī)械泵		1臺(tái)