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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
生產(chǎn)的系列熱工設(shè)備：
L4611Ⅱ-Z/RZQ雙管氧化爐
【產(chǎn)品簡(jiǎn)介】
氧化爐主要是完成半導(dǎo)體元器件的氧化，使元器件表面在一定的溫度和氣氛的反應(yīng)下形成一種所需要的氧化膜。同時(shí)可作元器件的燒結(jié)、退火、釬焊等工藝。
【產(chǎn)品特點(diǎn)】
具有應(yīng)用廣、安全可靠、控制精度高等特點(diǎn)。
【主要技術(shù)指標(biāo)】
● 溫度： 1250℃
●使用溫度： 300℃--1200℃
●恒溫區(qū)長(zhǎng)度： ≥600mm
●恒溫區(qū)精度: ±2℃
●單點(diǎn)控溫精度： ±1℃/24h
●升溫功率： 18KW
●保溫功率： 8KW
●氮?dú)饬髁浚?nbsp; 大 0—20L/min（可調(diào)） 小 0—1L/ min
●氫氣流量： 0—0.2L/min
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移動(dòng)站：氧化爐
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