產(chǎn)品介紹

NX-20具有形貌表征能力，設(shè)計(jì)使其保證了掃描的高精確度和數(shù)據(jù)的高重復(fù)性。高度自動(dòng)化的軟硬件，避免了人為操作的失誤和誤差，提高了工作效率測量，降低了勞動(dòng)強(qiáng)度。該儀器具備高速的伺服響應(yīng)能力，高掃描器線性度，低閉環(huán)檢測器噪聲水平，和低系統(tǒng)熱漂移量。

為企業(yè)研發(fā)實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)的精確AFM工具

精確測量不同基材的粗糙度

缺陷觀察及分析

高分辨電學(xué)掃描模式

可高精度觀察側(cè)壁的3D掃描模式

提高檢測的重復(fù)性和高效率

真正的非接觸掃描保護(hù)了探針，提高了掃描精確度

非接觸模式下的掃描速度

雙反饋XY掃描器實(shí)現(xiàn)了3D掃描

優(yōu)化的散熱部件

低噪音檢測器保證了精確的形貌測量

位移檢測器保證了形貌掃描的精確性

沒有壓電蠕變效應(yīng)引起的邊緣超調(diào)誤差

高速掃描過程中的精確高度測量

正反測量偏離量，小于0.15%