關(guān)于RTP 爐子

• 爐體結(jié)構(gòu): 雙層Al2O3纖維鋼構(gòu)，無需水冷或風冷,內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的1750度高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命
• 加熱元件: 8 根紅外燈管 (D=10 L=300 T =200, mm)
• 加熱區(qū): 4"X12" length （ +/-5oC ）
• 石英管: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length
• 真空法蘭: 不銹鋼制作，帶有水冷接口和針閥，雙層高溫”O“型圈密封。 長時間在 > 900oC 條件下運行必須采用水冷
• 循環(huán)水流量: 0.5 m³ /hr
• 溫控儀: 通過可控硅（SCR) PID 自動控制
• 帶自整定功能的30 程序精確控制
• 具有過熱保護和斷偶保護功能
• 控溫精度: +/- 0.5oC
• RS485 接口可與電腦連接
• 包含軟件(要求Window XP/7 系統(tǒng))
• 升溫速度: 室溫~800℃： 50 oC/sec ，800℃~1000℃ 10oC/sec
• 工作溫度: 1100oC
• 功率: 208-240 AC, 50/60 Hz 單相, 9 KW Max. (> 60A 保險)
• 尺寸: 760 X 330 X 530 mm (30"W x 13"L x 21" H)
• 重量: 45 kg (100 lbs)

結(jié)構(gòu)

關(guān)于真空泵和氣體流量計

• 3個氣體流量計 (量程40-400 cc/min ， 精度4% FS) 安裝在移動架底部,顯示每路氣體的流量。
• 高速真空泵2TW-4C-220v（真空度可達f 10-2 torr）. 通過橡膠管與RTP爐子相連.
• 4個不銹鋼針閥（移動架的側(cè)面）分別控制3路進氣和一路混合氣。
• 4個壓力表（移動架的正面）分別顯示每路氣體和混氣的壓力。
• 尺寸: 600 mm (L) x 600 mm (W) x 597 mm ( H)
• 重量: 210 lbs
• 保修期: 一年質(zhì)保期(耗材：如爐管,“O"型圈 和紅外燈等不在保修范圍內(nèi)）