產(chǎn)品簡介
| 每管裝片量 | 384片/舟（125*125） 336片/舟（156*156） |
| 工藝指標(biāo) | 片內(nèi)±3%，片間±3%，批間±3% |
| 工作溫度 | 200~500℃ |
| 溫區(qū)精度及長度（靜態(tài)閉管測試） | 1200mm±1℃ |
| 氣體流量精度 | ±1%FS |
| 氣路系統(tǒng)氣密性 | 1×10-7Pa.m³/S |
| 控制 | 全進(jìn)口自動壓力閉環(huán)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，精準(zhǔn)控制反應(yīng)真空；40KHz 高頻電源；工藝舟軟著陸；全數(shù)字式控制，*安全的過程控制保護(hù)。 |
| 1管、2管、3管、4管分別可選；自動裝載機(jī)械手可選，設(shè)備性能、工藝性能可與進(jìn)口設(shè)備媲美。 | |
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