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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
HVA 真空閘閥, 真空插板閥 21200 系列產(chǎn)品特點(diǎn):
1. 直線(xiàn)驅(qū)動(dòng)允許使用焊接波紋管來(lái)密封驅(qū)動(dòng)器.
2. *的氣缸設(shè)計(jì)使沖擊和振動(dòng)減少到最小.
3. HVA真空閘閥 21200 系列真空腔內(nèi)沒(méi)有機(jī)械鎖, 因此特別適合應(yīng)用于半導(dǎo)體制造和其他要求低振動(dòng)的敏感加工工業(yè).
4. 所有移動(dòng)的接頭都有硬軸有效減少微粒的產(chǎn)生并且使驅(qū)動(dòng)更容易.
5. HVA 不銹鋼閥體真空閘閥提供了真空閥門(mén)業(yè)界最小的內(nèi)部表面區(qū)域.
6. 閥體和所有內(nèi)部部件都是在1100 ℃, 1x10E-6 Torr的真空爐中一體釬焊完成, 確保了閥門(mén)的完整性.
7. 在保養(yǎng)方面, 支架部分可以拆掉而不用把真空閥門(mén)從整個(gè)系統(tǒng)中拆卸出來(lái).
8. 閥門(mén)驅(qū)動(dòng)手動(dòng)、氣動(dòng)可選.
9. 標(biāo)準(zhǔn)或定制法蘭滿(mǎn)足不同應(yīng)用.
10. HVA 標(biāo)準(zhǔn)周期真空閥門(mén) 21200 系列可任意位置安裝.
11. 電磁閥控制并帶有手動(dòng)超控.
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