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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
伯東 KRI 霍爾離子源 eH 400 特性：
1.可拆卸陽(yáng)極組件 - 易于維護(hù); 維護(hù)時(shí), 限度地減少停機(jī)時(shí)間; 即插即用備用陽(yáng)極
2.寬波束高放電電流 - 均勻的蝕刻率; 刻蝕效率高; 高離子輔助鍍膜 IAD 效率
3.多用途 - 適用于 Load lock / 超高真空系統(tǒng)
4.高效的等離子轉(zhuǎn)換和穩(wěn)定的功率控制
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移動(dòng)站：美國(guó) KRI 霍爾離子源 eH 400
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