● 徠卡DM12000M全新的光學(xué)設(shè)計(jì)，可以提供宏觀模式快速初檢，以及傾斜紫外光路功能(OUV, 傾斜紫外觀察模式)， 不單提升了分辨率還提高了檢查12英寸(300毫米)硅片的產(chǎn)能 。
● *新的 LED 照明技術(shù) ，一體化設(shè)計(jì)并整合在顯微鏡上，低熱輻射和機(jī)身內(nèi)一體化技術(shù)確保了*理想的機(jī)身外空氣流動(dòng)狀態(tài)。低能耗的節(jié)電設(shè)計(jì)大大延長(zhǎng)了使用壽命，符合綠色環(huán)保的理念。
● 一鍵式的操控設(shè)計(jì)使用戶可以輕易地完成倍率轉(zhuǎn)換和相關(guān)的照明和相襯效果。
 

技術(shù)參數(shù)：
● 上等智能數(shù)字式正置金相顯微鏡，適合晶圓、電子元器件、金屬、陶瓷、高分子材料、粉塵顆粒等樣品的觀察分析，多種安全設(shè)計(jì)，保護(hù)晶圓、鏡頭及觀察者
● 模塊化設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)反射觀察、透反射觀察配置
● 復(fù)消色差光路，整體光路支持25mm視野直徑
● 可選配UV光源，提高觀察分辨率至亞微米結(jié)構(gòu)，UV由大功率LED產(chǎn)生，具有UV和OUV功能
● 12×12大樣品臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)8”晶圓的直接觀察
● 6孔位電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)，配接32mm直徑長(zhǎng)工作距離工業(yè)物鏡
● 內(nèi)置電動(dòng)或手動(dòng)調(diào)焦系統(tǒng)
● 0.7X宏觀物鏡，具有宏觀晶圓檢查功能
● 可實(shí)現(xiàn)明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光、干涉和斜照明觀察方式
● 機(jī)身內(nèi)置LED透、反射照明電源，智能光強(qiáng)變化的控制照明方式
● 能自動(dòng)記憶在不同物鏡下和不同觀察方式下*佳的光強(qiáng)、光闌大小及聚光鏡的組合，自動(dòng)恢復(fù)到位，操作簡(jiǎn)單快速
● 機(jī)座配觸摸按鈕，控制顯微鏡的操作
● 光強(qiáng)、光闌、觀察方式調(diào)節(jié)和聚光鏡調(diào)節(jié)除可由按鍵控制外，還可由計(jì)算機(jī)控制操作，并自動(dòng)在不同倍數(shù)物鏡下拍的照片中加相應(yīng)倍數(shù)標(biāo)尺
● 具有色溫恒定系統(tǒng)，提高工作效率
● 可配接攝像頭、數(shù)碼相機(jī)進(jìn)行圖像采集、分析、測(cè)量
● 可配接熒光觀察、高溫?zé)崤_(tái)、陰極發(fā)光儀、光度計(jì)
● 可配接自動(dòng)掃描臺(tái)進(jìn)行多視場(chǎng)非金屬夾雜物和顆粒粒度、清潔度分析