1. 標(biāo)準(zhǔn)平面（A面），工作直徑D1=Φ146mm，平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)

2. 第二標(biāo)準(zhǔn)平面（B面），工作直徑D2=Φ140mm，平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)

3. 準(zhǔn)直系統(tǒng)----------------－工作直徑Φ146mm，焦距 f = 400mm

4. 光源規(guī)格----------------－激光ZN18(He-Ne)

5. 干涉室尺寸----------------Φ480×380×285mm

選配件一：
  精密升降工作臺(tái)（適用GⅠ、GⅡ型）

用途：
主要用于平晶、平行平晶等非鍍膜面高精度平面度的測(cè)量與檢定以及儀器采用鈉光或汞光照明時(shí)的測(cè)量。

選配件二：
  透檢工作臺(tái)（適用GⅠ型）

用途：
主要用于超薄平行平板的波前誤差測(cè)量、光學(xué)平板微小楔角相對(duì)干涉測(cè)量以及光學(xué)材料折射率均勻性的偏差判斷。

選配件三：
  高反射面測(cè)量工作臺(tái)（適用GⅠ、GⅡ、GⅢ型）

用途：
主要用于鍍反射膜及高折射率材料（如硅、鍺等材料）表面精度的測(cè)量與檢定。

選配件四：
  顯示監(jiān)控系統(tǒng)（適用GⅠ型）

用途：
顯示監(jiān)控系統(tǒng)的應(yīng)用，可減輕操作者的勞動(dòng)強(qiáng)度，并可實(shí)施多人判讀與分析，以達(dá)到教學(xué)與監(jiān)控的目的。

選配件五：
  計(jì)算機(jī)影像系統(tǒng)（適用GⅠ、GⅡ、GⅢ型）

用途：
影像系統(tǒng)的應(yīng)用，可將被檢測(cè)鏡面的原始資料通過計(jì)算機(jī)保存和傳輸，以達(dá)到資料存檔及遠(yuǎn)程監(jiān)控、驗(yàn)收評(píng)定質(zhì)量的目的。

選配件六：
  倍率成像測(cè)微系統(tǒng)（適用GⅠ、GⅡ、GⅢ型）

用途：
  主要用于目視精確量值的索得及小型被測(cè)件干涉條紋按要求放大測(cè)量與判讀。

技術(shù)參數(shù)：
  測(cè)微目鏡放大率15X
   倍率成像測(cè)微目鏡適用范圍見下表：