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  • 納米壓印系統(tǒng)
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型號(hào)

MicroTec

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更新時(shí)間

2021/7/28 12:32:53

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納米壓印系統(tǒng)

納米壓印系統(tǒng)詳細(xì)信息

納米壓印系統(tǒng)


型號(hào):MicroTec
廠家:德國Karl Suss
技術(shù)指標(biāo):
壓印精度:30nm 
重復(fù)性:±10nm(pitch)
                 ±15nm(depth) 
晶圓尺寸:2”, 4’’
模具尺寸:6’’
脫模方式:真空順序脫模

主要功能及應(yīng)用范圍:  采用氣體軟壓技術(shù),壓印均一性與一致性良好。典型使用領(lǐng)域:光子晶體、亞波長(zhǎng)光學(xué)器件、OLED、生物微溝道、有機(jī)薄膜晶體管、漸變折射率層等。

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