光刻機(jī)制冷機(jī)組靠譜操作規(guī)范及注意事項

光刻機(jī)制冷機(jī)組靠譜操作規(guī)范及注意事項

　　光刻機(jī)制冷機(jī)組這是可以提供恒定溫度，電流和壓力的冷卻水設(shè)備使用時，應(yīng)注意以下事項。

　　1.在安裝過程中，請檢查機(jī)器是否損壞，并選擇合適的位置進(jìn)行安裝和以后的維護(hù)。

　　2.設(shè)備的安裝地點須是地板，安裝墊或地基，且水平度應(yīng)在范圍之內(nèi)，并且能夠承受設(shè)備的工作重量。

　　3.單元應(yīng)放置在室溫下，單元周圍和上方應(yīng)有足夠的空間進(jìn)行日常維護(hù)。

　　4.在單元的一端，應(yīng)保留用于清潔冷凝器管束的抽氣空間，也可以使用門的開口或其他位置合適的孔。

　　5.當(dāng)設(shè)備以較大功率運行時，選擇具有適當(dāng)管徑的水管，冷卻系統(tǒng)和冷水系統(tǒng)，并正確連接它們。

　　6.對于普通應(yīng)用，通過蒸發(fā)器和冷凝器的水流速應(yīng)在范圍之間。

　　7.在負(fù)載下，水流均應(yīng)保持穩(wěn)定。

　　8.所有冷凍水和冷卻水管應(yīng)按照常規(guī)方法進(jìn)行設(shè)計和安裝。冷凍水泵應(yīng)位于設(shè)備的進(jìn)水管上，以確保設(shè)備中的正壓和流量。配管時，應(yīng)設(shè)置減震管，以確保適當(dāng)?shù)膹椥?，并在水泵停止時防止蒸發(fā)器的水排出。

　　9.應(yīng)獨立于組光刻機(jī)制冷機(jī)組牢固地支撐管道，以避免對組光刻機(jī)制冷機(jī)組的組件施加壓力。吊架的位置應(yīng)便于管道對齊。

　　10.為了減少噪音和振動，較好在管道上安裝振動隔離器。

　　11.為了經(jīng)濟(jì)有效地使用第光刻機(jī)制冷機(jī)組組，建議請水處理專家分析蒸發(fā)器和冷凝器的水質(zhì)。水質(zhì)差會導(dǎo)致結(jié)垢，影響傳熱，產(chǎn)生腐蝕沉淀，滋生有機(jī)物，影響裝置的性能并增加運行和維護(hù)成本。

　　12.一般來說，正確的水處理和定期清潔管束可以保持其良好性能。如果不能通過適當(dāng)?shù)姆椒ǜ纳片F(xiàn)有的水質(zhì)狀況，則須使管束具有較大的結(jié)垢系數(shù)或使用特殊的結(jié)構(gòu)材料。

在操作光刻機(jī)制冷機(jī)組時，請注意上述事項，這一定會使您受益。