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產(chǎn)品簡介
RTP快速退火爐是我公司自主研發(fā)的功能*的加熱設(shè)備。RTP快速退火爐采用進(jìn)口紅外加熱管加熱，造型新穎結(jié)構(gòu)合理，爐體和爐管可以自由滑動，可實現(xiàn)快速升降溫。爐管內(nèi)尺寸120mm，可以直接放下4英寸的材料，試樣反應(yīng)區(qū)處在一個密閉的石英腔體內(nèi)，在完成生產(chǎn)工藝的同時也大大降低了間接污染試樣的可能性。設(shè)備配備LCD高清觸摸屏，設(shè)定數(shù)據(jù)實驗操作均為圖文界面，操作方便快捷易上手，能夠大大提高您的實驗效率。設(shè)備預(yù)留了真空和氣路的快速接口，可以選購我們的真空系統(tǒng)和混氣系統(tǒng)一起使用。
RTP快速退火爐應(yīng)用領(lǐng)域：
快速退火爐設(shè)備，可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化、擴(kuò)散、化合物半導(dǎo)體退火、離子注入后退火、電極合金化、晶化和致密化、合金熔點(diǎn)分析、薄膜沉積等。
RTP快速退火爐技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品型號 CY-O1000-120I-T-RTP 爐管材質(zhì) 高純石英 爐管直徑 120mm 爐管長度 500mm 爐膛長度 440mm 加熱區(qū)長 400mm 恒溫區(qū)長 200mm 工作溫度 0～1000℃ 升溫速度 *80℃/s，快升溫速度200℃/s 降溫速度 200℃以上≤25min 控溫精度 ±1℃ 控溫模式 30段或50段程序控溫 顯示模式 LCD觸摸屏 密封方式 304不銹鋼真空法蘭 法蘭接口 1/4英寸卡套接頭(?8寶塔嘴接頭) 可抽真空 4.4E-3Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz
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