臺式勻膠機：(Spin Coater)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合半導(dǎo)體大型晶圓硅片,芯片,晶片,基片,液晶片,華陽板等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。

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勻膠機技術(shù)參數(shù)：
型號：KW-5（臺式）
1,特點是雙轉(zhuǎn)速,兩檔轉(zhuǎn)速及勻膠時間分別連續(xù)節(jié),在啟動后先低速運轉(zhuǎn),經(jīng)幾秒鐘后轉(zhuǎn)換到高速運轉(zhuǎn). 
Ⅰ檔  調(diào)速范圍：500 -1000轉(zhuǎn)/分   Ⅰ檔  勻膠時間：2-18秒 
Ⅱ檔  調(diào)速范圍：1000-5000轉(zhuǎn)/分  Ⅱ檔  勻膠時間：3-60秒
2,進口轉(zhuǎn)子,穩(wěn)定性能更好,轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)以數(shù)字顯示為準.
3,LED數(shù)字顯示,轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度：±1%  ,膠的均勻性：±3%  .
4,三相電源：380V
5,電機功率：180W  
6,適用：Φ100-Φ200mm（4”~~8”）硅片及其它材料等勻膠. 
7,真空泵抽氣速率   ≥1200升/分  
8,設(shè)備尺寸：500×500×460   mm  
主要特點：
（一）該設(shè)備采用美國*技術(shù),采用進口配件（韓國定子和轉(zhuǎn)子，美國電機）
（二）定子和轉(zhuǎn)子分開供電.定子用穩(wěn)定電源供勵磁電流,轉(zhuǎn)子用開關(guān)電源調(diào)速,它比可用控硅調(diào)速*得多,轉(zhuǎn)速在1000~5000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定. 
（三）本有兩個轉(zhuǎn)速.在啟動之后,先以低速運轉(zhuǎn),使膠攤開,然后自動變到高速運轉(zhuǎn).兩種轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時間分別可調(diào). 
（四）本測速采用光電的辦法,在光電測速盤的邊上有三個缺口,（反射帶和吸收帶）分布于盤的周圍，盤邊的下面安裝有光電開關(guān),光源照到光電經(jīng)反射到接收器,產(chǎn)生光電脈沖,測速盤旋轉(zhuǎn)一周,產(chǎn)生三個脈沖.閘門由秒脈沖電路產(chǎn)生,周期為兩秒.當馬達旋轉(zhuǎn)時,如果計時器在2秒內(nèi)計的得數(shù)是n,則每分鐘應(yīng)該轉(zhuǎn)了n/（2x3）=n/6轉(zhuǎn),每分鐘旋轉(zhuǎn)（n/6）x60=10n轉(zhuǎn).故計數(shù)器就是每分鐘轉(zhuǎn)速,只不過差一個數(shù)量級. 
（五）"吸片"采用電磁閥控制氣路,這樣適合流水線的工藝,一個氣泵可同時帶幾個工作,提高了效率. 
（六）的定時功能由時基電路556來完成,把556按單穩(wěn)形式連接,改變RC常數(shù),就可以改變兩個勻膠時間.
（七）智能型調(diào)節(jié)勻膠時間,時間分別控制在1~18秒和3秒~1分鐘.
（八）在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減振措施,保證了在運轉(zhuǎn)時噪音很低,保證涂覆表面均勻,保證通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)涂覆厚度.
（九）配真空泵使用（KW-5型 推薦使用雙級無油環(huán)保真空泵 SML-140型）
行業(yè)應(yīng)用補充說明：
臺式：（Spin   Coater）適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合半導(dǎo)體大型晶圓硅片,芯片,晶片,基片,液晶片,華陽板等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。
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