電容式傳感器與電阻式、電感式等傳感器相比有如下一些缺點：

1.高阻抗、小功率，因而所需的輸入力很小，輸入能量也很低。電容式傳感器因帶電極板間靜電引力極小，因此所需輸入能量極小，所以特別適宜用來解決輸入能量低的測量問題；

2.溫度穩(wěn)定性好，傳感器的電容值一般與電極材料無關(guān)，有利于選擇溫度系數(shù)低的材料，又因本身發(fā)熱極小，對穩(wěn)定性影響甚微；

3.結(jié)構(gòu)簡單，適應(yīng)性強，待測體是導(dǎo)體或半導(dǎo)體均可，可在惡劣環(huán)境中工作；

4.動態(tài)響應(yīng)好，由于極板間的靜電引力很小，可動部分做得很小很薄，因此其固有頻率很高，動態(tài)響應(yīng)時間短，能在幾兆赫的頻率下工作，特別適合動態(tài)測量。

5.可以實現(xiàn)非接觸測量，具有平均效應(yīng)，當(dāng)采用非接觸測量時，電容式傳感器具有平均效應(yīng)，可以減小工作表面粗糙等對測量的影響。