| 參考價 | 面議 |
生產(chǎn)廠家
BTF-1200C-II-SL-400C-PECV
880
安徽合肥市
2020/5/11 9:15:18
產(chǎn)品簡介
| 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品新舊 | 全新 |
特點及用途：
前端預(yù)熱雙溫區(qū)滑軌PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體，輝光放電等離子體中：電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍，使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學反應(yīng)，從而實現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術(shù)。通過反應(yīng)氣態(tài)放電，有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征，從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式,低溫熱等離子體化學氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點，工藝流程簡單。
前端預(yù)熱雙溫區(qū)滑軌PECVD配有前端預(yù)加熱爐，輔助固態(tài)源蒸發(fā)，后端為單溫區(qū)加熱爐 ，溫度控制精確，操作簡便，對于氣相沉積，二維材料，等離子處理生長工藝非常合適，也同樣適用于要求快速升降溫的CVD實驗。
1.與傳統(tǒng)CVD系統(tǒng)比較，生長溫度更低。
2.使用滑軌爐實現(xiàn)快速升溫和降溫。
3.設(shè)備*的zhuan利技術(shù)使得整管輝光均勻等效，均勻生長
1.加熱系統(tǒng)
zui高溫度 | 1200℃ |
使用溫度 | ≤1100℃ |
爐膛有效尺寸 | Φ50mm（爐管直徑可根據(jù)實際需要定制） |
爐膛材料 | 氧化鋁、高溫纖維制品 |
熱電偶類型 | K型熱電偶 |
控溫精度 | ±1℃ |
控溫方式 | 30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定 |
加熱長度 | 200+200mm |
恒溫長度 | 100+100mm |
加熱原件 | 電阻絲 |
供電電源 | 單相，220V，50Hz |
2、預(yù)熱系統(tǒng)系統(tǒng)
zui高溫度 | 400℃ |
爐膛有效尺寸 | Φ50mm（爐管直徑可根據(jù)實際需要定制） |
爐膛材料 | 氧化鋁、高溫纖維制品 |
熱電偶類型 | K型熱電偶 |
控溫精度 | ±1℃ |
控溫方式 | 30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定 |
加熱長度 | 100mm |
加熱原件 | 電阻絲 |
額定功率 | 800W |
3、PE系統(tǒng)
功率輸出范圍 | 0W~500W |
zui大反射功率 | 100W |
射頻輸出接口 | 50 Ω, N-type, female |
功率穩(wěn)定度 | ≤5W |
諧波分量 | ≤-50dbc |
供電電壓 | 單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ |
整機效率 | >=70% |
功率因素 | >=90% |
冷卻方式 | 強制風冷 |
4、三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)
連接頭類型 | 雙卡套不銹鋼接頭 |
標準量程（N2) | 50sccm，100sccm、500sccm （可根據(jù)用戶要求定制） |
準確度 | ±1.5%F.S |
線性 | ±1%F.S |
重復(fù)精度 | ±0.2%F.S |
響應(yīng)時間 | 氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec |
工作壓差范圍 | 0.1～0.5 MPa |
zui大壓力 | 3MPa |
接口 | Φ6,1/4'' |
顯示 | 4位數(shù)字顯示 |
工作環(huán)境溫度 | 5~45高純氣體 |
壓力真空表 | －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止閥 | Φ6 |
內(nèi)外雙拋不銹鋼管 | Φ6 |
5、低真空機組
空氣相對濕度 | ≤85% |
工作環(huán)境 | 5℃～40℃ |
工作電電壓 | 280V |
抽氣速率 | 32m³/h |
極限真空 | 5X10-1Pa（空載冷態(tài)） |
工作壓力范圍 | 1.01325X105～1.33X10-2Pa |
耐壓值 | 0.03MPa |
進氣口口徑 | KF40 |
排氣口口徑 | KF40 |
連接方式 | 采用波紋管，手動擋板閥與波紋管相連 |
留言咨詢
您訪問的前端預(yù)熱雙溫區(qū)滑軌PECVD產(chǎn)品信息，由安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司自行發(fā)布提供，產(chǎn)品價格為面議，如您想了解更多關(guān)于前端預(yù)熱雙溫區(qū)滑軌PECVD型號、參數(shù)、用途等信息，歡迎咨詢。
該內(nèi)容的真實性、準確性和合法性由發(fā)布會員負責，為保障安全，建議您在購買相關(guān)產(chǎn)品前務(wù)必確認供應(yīng)商資質(zhì)以及產(chǎn)品質(zhì)量！
相關(guān)分類
該廠商其他產(chǎn)品
相關(guān)技術(shù)文章
隨時掌握行業(yè)動態(tài)
采購中心
采購專員1對1咨詢
*您想獲取產(chǎn)品的資料：
個人信息：
康平县|
岳普湖县|
井冈山市|
稻城县|
平陆县|
宜昌市|
兴国县|
玉林市|
额尔古纳市|
乌恰县|
若尔盖县|
加查县|
乌鲁木齐县|
咸阳市|
黔西县|
南郑县|
淳化县|
周至县|
镇宁|
西峡县|
吴忠市|
乌审旗|
贺州市|
珲春市|
鄢陵县|
南陵县|
富平县|
酒泉市|
渑池县|
如东县|
岱山县|
乌兰县|
什邡市|
库尔勒市|
静安区|
保德县|
青冈县|
曲水县|
龙游县|
彭水|
和林格尔县|
用戶評論
發(fā)布評論