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內容聲明：
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產品簡介
卷對卷等離子增強CVD設備產品參數(shù)
| 產地 | 國產 | 產品新舊 | 全新 |
卷對卷等離子增強CVD設備 是快速冷卻卷對卷等離子體增強CVD連續(xù)生長爐，它由高溫生長腔體，三路質量流量計氣路系統(tǒng)，真空機組，RF射頻電源模塊，石英管，冷卻裝置，收放卷的密封裝置，自動化控制系統(tǒng)組成，兩端分別安裝有進料進氣真空腔室和出料排氣真空腔室（即收放銅箔或纖維絲的密封裝置），收放密封裝置內分別對應安裝有放卷滾輪和收卷滾輪，所輸出料排氣腔體與爐體
卷對卷等離子增強CVD設備詳細信息
技術參數(shù)：
額定功率：7KW
額定電壓：AC 208-240V ，50/60 Hz
zui高溫度：1200℃
持續(xù)工作溫度：≤1100℃
升溫速率：≤30℃/min
爐管尺寸：高純石英管Φ80×2000mm
加熱區(qū)長度：300+300+300mm
恒溫區(qū)長度：500mm
控溫方式：宇電儀表
控溫精度：±1℃
加熱元件：進口電阻絲
真空度可達10-1Pa ；
真空泵抽速：4L/S
氣路系統(tǒng)內部裝有高精度質量流量計可準確的控制氣體流量；設靜態(tài)混氣室，有助于氣體充分混合，按要求配比。
準確度：±1.5%
線性：±0.5～1.5%
重復精度：±0.2%
響應時間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec
工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa
zui大壓力：3MPa
接口：Φ6,1/4''
顯示：液晶屏顯示
工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體
內外雙拋不銹鋼管：Φ6
壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止閥：Φ6
射頻信號頻率：13.56MHz±0.005%W
功率輸出范圍：0-500W
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